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科學(xué)家在離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)構(gòu)筑金剛石-石墨材料研究方面獲進(jìn)展

共價(jià)金剛石-石墨材料集合了金剛石和石墨的性質(zhì)優(yōu)勢(shì),能夠?qū)崿F(xiàn)超硬、極韌、導(dǎo)電等優(yōu)越性能組合,在超硬和電子器件領(lǐng)域具有研究和發(fā)展價(jià)值。目前,由于金剛石-石墨共價(jià)界面能高,主...

日期 2024-05-09   

《金剛石制備 低壓微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)獲批立項(xiàng)

《金剛石制備 低壓微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)獲批立項(xiàng)
《金剛石制備 低壓微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)獲批立項(xiàng)
《金剛石制備 低壓微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)獲批立項(xiàng)

4月23日,中國(guó)質(zhì)量檢驗(yàn)協(xié)會(huì)發(fā)布通知,《金剛石制備低壓微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)順利通過(guò)評(píng)審,批準(zhǔn)立項(xiàng)。上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司、上海征世科技股份有限公...

日期 2023-04-26   
采用熱絲化學(xué)氣相沉積法研究鑲嵌單晶金剛石晶片上硼摻雜層的水平和垂直均勻性

采用熱絲化學(xué)氣相沉積法研究鑲嵌單晶金剛石晶片上硼摻雜層的水平和垂直均勻性

為了開(kāi)發(fā)英寸級(jí)金剛石加工技術(shù),采用熱絲化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)在鑲嵌單晶金剛石片上生長(zhǎng)了硼摻雜層,與微波等離子...

日期 2022-06-08   
哈爾濱工業(yè)大學(xué)915MHz微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(金剛石生長(zhǎng)設(shè)備)公開(kāi)招標(biāo)公告

哈爾濱工業(yè)大學(xué)915MHz微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(金剛石生長(zhǎng)設(shè)備)公開(kāi)招標(biāo)公告

哈爾濱工業(yè)大學(xué)915MHz微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(金剛石生長(zhǎng)設(shè)備)招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)(http...

日期 2021-10-12   

微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備及高品質(zhì)金剛石合成與應(yīng)用研究項(xiàng)目順利通過(guò)科技成果

微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備及高品質(zhì)金剛石合成與應(yīng)用研究項(xiàng)目順利通過(guò)科技成果
微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備及高品質(zhì)金剛石合成與應(yīng)用研究項(xiàng)目順利通過(guò)科技成果
微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備及高品質(zhì)金剛石合成與應(yīng)用研究項(xiàng)目順利通過(guò)科技成果

2020年12月24日,由第三方科技成果評(píng)價(jià)機(jī)構(gòu)湖南省新材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)組織的“微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備及高品質(zhì)金剛石合成與應(yīng)用研究”項(xiàng)目科技成果評(píng)價(jià)會(huì)圓滿召開(kāi)。該項(xiàng)目...

日期 2021-01-04   

改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)方法,消除雜質(zhì),制備單層單晶石墨烯!

改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)方法,消除雜質(zhì),制備單層單晶石墨烯!
改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)方法,消除雜質(zhì),制備單層單晶石墨烯!
改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)方法,消除雜質(zhì),制備單層單晶石墨烯!

科學(xué)家們研究了一個(gè)真正的單層,即大面積石墨烯薄膜覆蓋在大面積銅箔上。改進(jìn)了化學(xué)氣相沉積(CVD)生長(zhǎng)方法,消除了石墨烯生長(zhǎng)在銅箔上的所有碳雜質(zhì)。這種均勻“完美”的單層單...

日期 2019-09-05   
化學(xué)氣相沉積的金剛石圓盤(pán)是科學(xué)家控制核聚變反應(yīng)不可或缺的材料

化學(xué)氣相沉積的金剛石圓盤(pán)是科學(xué)家控制核聚變反應(yīng)不可或缺的材料

圖片所示為,用于核聚變反應(yīng)堆和回旋管中的多晶CVD金剛石圓盤(pán)。圖片來(lái)源:卡爾斯魯厄理工學(xué)院因?yàn)楹穗娔軌蚪o人們提供...

日期 2018-08-07   

化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)梳理

1.化學(xué)氣相沉積CVD的來(lái)源及發(fā)展化學(xué)氣相沉積(ChemicalVaporDeposition)中的VaporDeposition意為氣相沉積,其意是指利用氣相中發(fā)生的...

日期 2018-03-07   
CVD / PVD

高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積研究

高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積研究
高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積研究
高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積研究

摘要:采用高功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備了高定向的納米金剛石膜,研究了制備過(guò)程中促進(jìn)高定向納米金剛石膜的生長(zhǎng)條件與生長(zhǎng)規(guī)律間的關(guān)聯(lián),并采用掃描電鏡、原子...

日期 2018-02-12   
微波等離子體化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)單晶金剛石用的沉積臺(tái)

微波等離子體化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)單晶金剛石用的沉積臺(tái)

申請(qǐng)?zhí)?201720707933.3申請(qǐng)日:2017.06.16申請(qǐng)人:北京科技大學(xué)發(fā)明人:李成明;趙云;林亮珍...

日期 2018-01-08   
一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備

一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備

申請(qǐng)?zhí)?201720497623.3申請(qǐng)日:2017.05.05申請(qǐng)人:寧波工程學(xué)院發(fā)明人:王瑞來(lái);鮑明東;徐雪...

日期 2018-01-02   
 一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

申請(qǐng)?zhí)?201720527928.4申請(qǐng)日:2017.05.12申請(qǐng)人:中國(guó)工程物理研究院應(yīng)用電子學(xué)研究所發(fā)明人...

日期 2017-12-22   
一種金剛石薄膜的射頻等離子化學(xué)氣相沉積裝置

一種金剛石薄膜的射頻等離子化學(xué)氣相沉積裝置

申請(qǐng)?zhí)?201720267999.5申請(qǐng)日:2017.03.20國(guó)家/省市:中國(guó)河南(41)主分類(lèi)號(hào):C23C1...

日期 2017-10-09   
一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的吹氣裝置

一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的吹氣裝置

申請(qǐng)?zhí)枺?01710313388.4申請(qǐng)人:寧波工程學(xué)院發(fā)明人:鮑明東徐雪波呂志甲楊夢(mèng)夢(mèng)馮超何驊波丁蘭&n

日期 2017-08-24   
利用化學(xué)氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法

利用化學(xué)氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法

申請(qǐng)?zhí)枺?01710072261.8申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)上海交友鉆石涂層有限公司發(fā)明人:孫方宏申笑天王新昶郭松壽...

日期 2017-07-19   
一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

申請(qǐng)?zhí)枺?01710334592.4申請(qǐng)人:中國(guó)工程物理研究院應(yīng)用電子學(xué)研究所發(fā)明人:李文君周霖程云馮真李春霞單...

日期 2017-07-14   
化學(xué)氣相沉積金剛石刀具及其加工方法

化學(xué)氣相沉積金剛石刀具及其加工方法

申請(qǐng)?zhí)枺?01710197936.1申請(qǐng)人:深圳市中天超硬工具股份有限公司發(fā)明人:林漢生劉敏解宇摘要:本發(fā)明涉及...

日期 2017-07-05   
微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置

微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置

申請(qǐng)?zhí)枺?01710244693.2申請(qǐng)人:于宗旭發(fā)明人:于宗旭摘要:本發(fā)明為一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石...

日期 2017-06-29   
一種用于化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜的緊湊型真空反應(yīng)裝置

一種用于化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜的緊湊型真空反應(yīng)裝置

申請(qǐng)?zhí)枺?01610920789.1申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)發(fā)明人:白清順王永旭趙航余天凱杜云龍張慶春摘要:一種用...

一種在工件內(nèi)孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置

一種在工件內(nèi)孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置

申請(qǐng)?zhí)枺?01620932071.X申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院金屬研究所發(fā)明人:姜辛劉魯生黃楠楊兵翟超峰李俊豪賈心怡摘要...

日期 2017-02-28   
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第六屆磨料磨具磨削展覽會(huì)暨2023金剛石產(chǎn)業(yè)大會(huì)

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2023年9月20日,時(shí)隔四年,期待已久的第六屆磨料磨具磨削展覽會(huì)在鄭州國(guó)際會(huì)展中心隆重開(kāi)幕。本次展覽會(huì)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)有限公司、國(guó)機(jī)精工股份有限公司、中國(guó)機(jī)械國(guó)際合作股份有限公司聯(lián)合主辦。旨在推動(dòng)中國(guó)磨料磨具行業(yè)的快速發(fā)展,加強(qiáng)國(guó)內(nèi)外企業(yè)的交流與合作。