申請(qǐng)?zhí)枺?01620932071.X
　　申請(qǐng)人：中國(guó)科學(xué)院金屬研究所
　　發(fā)明人：姜辛 劉魯生 黃楠 楊兵 翟超峰 李俊豪 賈心怡

　　摘要： 本實(shí)用新型涉及金剛石膜生長(zhǎng)領(lǐng)域，尤其涉及一種在工件內(nèi)孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置。該裝置設(shè)有密閉的反應(yīng)腔體，反應(yīng)腔體的一端設(shè)有氣體噴淋頭，氣體噴淋頭通過(guò)管路與外部氣源連接，反應(yīng)腔體的另一端設(shè)有抽真空系統(tǒng)和真空測(cè)控系統(tǒng)；反應(yīng)腔體內(nèi)部設(shè)有中空的水冷樣品臺(tái)，水冷樣品臺(tái)的中空部分向內(nèi)依次設(shè)有絕緣層、導(dǎo)電層、工件、熱絲。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)在工件內(nèi)孔快速、均勻沉積金剛石薄膜，減少反應(yīng)氣體的消耗，沉積過(guò)程中能測(cè)控?zé)峤z的溫度、工件表面的溫度和反應(yīng)腔內(nèi)的壓強(qiáng)，能準(zhǔn)確控制金剛石薄膜沉積各項(xiàng)主要工藝參數(shù)，工藝重復(fù)性好。 　　主權(quán)利要求：1.一種在工件內(nèi)孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，該裝置設(shè)有密閉的反應(yīng)腔體，反應(yīng)腔體的一端設(shè)有氣體噴淋頭，氣體噴淋頭通過(guò)管路與外部氣源連接，反應(yīng)腔體的另一端設(shè)有抽真空系統(tǒng)和真空測(cè)控系統(tǒng)；反應(yīng)腔體內(nèi)部設(shè)有中空的水冷樣品臺(tái)，水冷樣品臺(tái)的中空部分向內(nèi)依次設(shè)有絕緣層、導(dǎo)電層、工件、熱絲。