申請(qǐng)?zhí)? 201720497623.3

申請(qǐng)日: 2017.05.05

申請(qǐng)人: 寧波工程學(xué)院  

發(fā)明人: 王瑞來(lái); 鮑明東; 徐雪波; 杜一; 馮超; 呂志甲; 楊夢(mèng)夢(mèng) 

       摘要： 

       本實(shí)用新型涉及金剛石膜制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備，包括鍍膜腔體(1)和工控系統(tǒng)，電極(2)和試樣臺(tái)(4)，還包括輔助腔體(5)，電動(dòng)閥門(6)，所述電動(dòng)閥門(6)與工控系統(tǒng)電連接，所述輔助腔體(5)內(nèi)具有在鍍膜時(shí)用以向試樣(3)表面吹氣的吹氣裝置，所述吹氣裝置滑動(dòng)連接在安裝臺(tái)(7)上，安裝臺(tái)(7)上還設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置。采用這種結(jié)構(gòu)后，當(dāng)觀察到試樣表面出現(xiàn)異質(zhì)顆粒物時(shí)，可以及時(shí)將異質(zhì)顆粒物從試樣表面清除，從而可以避免鍍制出來(lái)的金剛石膜受到異質(zhì)顆粒物的影響，保證鍍制出來(lái)的金剛石膜的質(zhì)量。

       主權(quán)利要求:

       一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備，包括鍍膜腔體(1)、安裝臺(tái)架(40)和工控系統(tǒng)，所述鍍膜腔體(1)固定在安裝臺(tái)架(40)上，所述鍍膜腔體(1)內(nèi)固定有電極(2)和用于夾持試樣(3)的試樣臺(tái)(4)，所述試樣臺(tái)(4)位于電極(2)正下方，其特征在于：所述一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備還包括輔助腔體(5)，所述輔助腔體(5)與鍍膜腔體(1)連接，所述輔助腔體(5)與鍍膜腔體(1)之間設(shè)有將輔助腔體(5)與鍍膜腔體(1)隔開(kāi)的電動(dòng)閥門(6)，所述電動(dòng)閥門(6)與工控系統(tǒng)電連接，所述輔助腔體(5)內(nèi)具有在鍍膜時(shí)用以向試樣(3)表面吹氣的吹氣裝置，所述輔助腔體(5)內(nèi)固定有安裝臺(tái)(7)，所述吹氣裝置滑動(dòng)連接在安裝臺(tái)(7)上，安裝臺(tái)(7)上還設(shè)有用以將吹氣裝置推向試樣(3)方向運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置與吹氣裝置連接，所述輔助腔體(5)的腔體上連接有抽氣裝置(8)，所述一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備還包括用以給吹氣裝置提供氣源的氣源系統(tǒng)，所述吹氣裝置與氣源系統(tǒng)連接。