申請?zhí)? 201720707933.3

申請日: 2017.06.16

申請人: 北京科技大學(xué)

發(fā)明人: 李成明; 趙云; 林亮珍; 安康; 鄭宇亭; 黑立富; 劉金龍; 魏俊俊; 陳良賢

       摘要： 

       一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積法生長單晶金剛石用的沉積臺，所述沉積臺由內(nèi)外兩部分組成，外部為屏蔽套環(huán)，內(nèi)部為金剛石籽晶托；所述屏蔽套環(huán)中部開有階梯形通孔，上部為四邊形方孔，下部為圓孔；所述金剛石籽晶托為階梯軸狀，上部為四方軸，下部為圓軸。本實用新型在微波等離子體化學(xué)氣相沉積生長單晶金剛石的過程中，通過屏蔽套環(huán)對微波電場的屏蔽作用，減少電場對其產(chǎn)生的邊緣效應(yīng)，提高單晶金剛石合成的局部可控性，并使金剛石籽晶處在一個合適的熱環(huán)境中，以促進在高生長速率下進行高質(zhì)量單晶金剛石的生長，同時在生長結(jié)束后，便于對金剛石與籽晶托接觸面之間所產(chǎn)生的沉積物或碳化物進行清理，維持界面之間的良好導(dǎo)熱，提高單晶金剛石生長工藝參數(shù)的可重復(fù)性。

       主權(quán)利要求:

       一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積法生長單晶金剛石用的沉積臺，其特征在于：所述沉積臺由內(nèi)外兩部分組成，外部為屏蔽套環(huán)，內(nèi)部為金剛石籽晶托。