申請?zhí)枺?01710313388.4
       申請人：寧波工程學(xué)院
       發(fā)明人：鮑明東 徐雪波 呂志甲 楊夢夢 馮超 何驊波 丁蘭

       摘要： 一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的吹氣裝置，包括噴槍(9)、波紋軟管(10)、第一支撐結(jié)構(gòu)(11)、第二支撐結(jié)構(gòu)(12)和安裝板(13)，所述第二支撐結(jié)構(gòu)(12)包括第二支桿(17)、第二夾持件(18)和滑輪(19)，所述安裝板(13)上設(shè)有圓弧形滑槽(20)，所述滑輪(19)與圓弧形滑槽(20)滾動連接。該吹氣裝置應(yīng)用于鍍制金剛石膜設(shè)備后，在鍍制金剛石膜的過程中，當(dāng)觀察到襯底試樣表面出現(xiàn)異質(zhì)顆粒物時，可以及時將異質(zhì)顆粒物從襯底試樣表面清除，從而可以避免鍍制出來的金剛石膜受到異質(zhì)顆粒物的影響，保證鍍制出來的金剛石膜的質(zhì)量。        主權(quán)利要求：1.一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的吹氣裝置，包括噴槍(9)、波紋軟管(10)、第一支撐結(jié)構(gòu)(11)、第二支撐結(jié)構(gòu)(12)和安裝板(13)；所述噴槍(9)通過第一支撐結(jié)構(gòu)(11)和第二支撐結(jié)構(gòu)(12)安裝在安裝板(13)上，所述安裝板(13)滑動連接在安裝臺(7)上，所述第一支撐結(jié)構(gòu)包括第一支桿(15)以及與第一支桿(15)活動連接的第一夾持件(16)，所述第二支撐結(jié)構(gòu)(12)包括第二支桿(17)、第二夾持件(18)和滑輪(19)，所述第二夾持件(18)固定在第二支桿(17)的一端，所述滑輪(19)與第二支桿(17)的另一端連接，所述噴槍(9)固定在第一夾持件(16)和第二夾持件(18)上，所述安裝板(13)上設(shè)有圓弧形滑槽(20)，所述滑輪(19)與圓弧形滑槽(20)滾動連接，所述安裝板(13)上固定有用以驅(qū)動滑輪(19)在弧形滑槽(20)內(nèi)滾動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括第一伺服電機(jī)(21)和擺桿(22)，所述擺桿(22)一端與第一伺服電機(jī)(21)連接，所述擺桿(22)的另一端與第二支桿(17)連接，所述第一伺服電機(jī)(21)與化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的工控系統(tǒng)連接。
       2.按照權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的吹氣裝置，其特征在于：所述第一支桿(15)包括第一桿體(15.1)和第二桿體(15.2)，所述第一桿體(15.2)固定在安裝板(13)上，所述第一夾持件(16)通過萬向接頭與第一桿體(15.1)的一端連接，所述第二桿體(15.2)和第一桿體(15.1)滑動連接，所述第二桿體(15.2)和第一桿體(15.1)之間設(shè)有驅(qū)動第二桿體(15.2)在第一桿體(15.1)內(nèi)上下滑動的驅(qū)動組件。
       3.按照權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的吹氣裝置，其特征在于：所述第二桿體(15.2)和第一桿體(15.1)滑動連接是指，所述第二桿體(15.2)遠(yuǎn)離第一夾持件(16)的一端設(shè)有滑條(15.3)，所述第一桿體(15.1)上設(shè)有與所述滑條(15.3)滑動連接的滑槽(15.4)，所述驅(qū)動組件包括第三伺服電機(jī)(33)和齒輪(34)，所述第三伺服電機(jī)(33)固定在安裝板(13)上，所述第三伺服電機(jī)(33)的驅(qū)動端與齒輪(34)連接，所述滑條(15.3)的側(cè)壁上設(shè)有齒條(15.5)，所述齒輪(34)與齒條(15.5)嚙合連接。
       4.按照權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積鍍制金剛石膜的設(shè)備的吹氣裝置，其特征在于：所述噴槍(9)的端部固定設(shè)有用于遮擋設(shè)備中的電極(2)的擋板(32)。