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科學家在離子體化學氣相沉積技術構筑金剛石-石墨材料研究方面獲進展

共價金剛石-石墨材料集合了金剛石和石墨的性質優(yōu)勢,能夠實現(xiàn)超硬、極韌、導電等優(yōu)越性能組合,在超硬和電子器件領域具有研究和發(fā)展價值。目前,由于金剛石-石墨共價界面能高,主...

日期 2024-05-09   

《金剛石制備 低壓微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)》團體標準獲批立項

《金剛石制備 低壓微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)》團體標準獲批立項
《金剛石制備 低壓微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)》團體標準獲批立項
《金剛石制備 低壓微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)》團體標準獲批立項

4月23日,中國質量檢驗協(xié)會發(fā)布通知,《金剛石制備低壓微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)》團體標準順利通過評審,批準立項。上海鉑世光半導體科技有限公司、上海征世科技股份有限公...

日期 2023-04-26   
采用熱絲化學氣相沉積法研究鑲嵌單晶金剛石晶片上硼摻雜層的水平和垂直均勻性

采用熱絲化學氣相沉積法研究鑲嵌單晶金剛石晶片上硼摻雜層的水平和垂直均勻性

為了開發(fā)英寸級金剛石加工技術,采用熱絲化學氣相沉積(CVD)技術在鑲嵌單晶金剛石片上生長了硼摻雜層,與微波等離子...

日期 2022-06-08   
哈爾濱工業(yè)大學915MHz微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)(金剛石生長設備)公開招標公告

哈爾濱工業(yè)大學915MHz微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)(金剛石生長設備)公開招標公告

哈爾濱工業(yè)大學915MHz微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)(金剛石生長設備)招標項目的潛在投標人應在必聯(lián)網(wǎng)(http...

日期 2021-10-12   

微波等離子體化學氣相沉積設備及高品質金剛石合成與應用研究項目順利通過科技成果

微波等離子體化學氣相沉積設備及高品質金剛石合成與應用研究項目順利通過科技成果
微波等離子體化學氣相沉積設備及高品質金剛石合成與應用研究項目順利通過科技成果
微波等離子體化學氣相沉積設備及高品質金剛石合成與應用研究項目順利通過科技成果

2020年12月24日,由第三方科技成果評價機構湖南省新材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會組織的“微波等離子體化學氣相沉積設備及高品質金剛石合成與應用研究”項目科技成果評價會圓滿召開。該項目...

日期 2021-01-04   

改進的化學氣相沉積生長方法,消除雜質,制備單層單晶石墨烯!

改進的化學氣相沉積生長方法,消除雜質,制備單層單晶石墨烯!
改進的化學氣相沉積生長方法,消除雜質,制備單層單晶石墨烯!
改進的化學氣相沉積生長方法,消除雜質,制備單層單晶石墨烯!

科學家們研究了一個真正的單層,即大面積石墨烯薄膜覆蓋在大面積銅箔上。改進了化學氣相沉積(CVD)生長方法,消除了石墨烯生長在銅箔上的所有碳雜質。這種均勻“完美”的單層單...

日期 2019-09-05   
化學氣相沉積的金剛石圓盤是科學家控制核聚變反應不可或缺的材料

化學氣相沉積的金剛石圓盤是科學家控制核聚變反應不可或缺的材料

圖片所示為,用于核聚變反應堆和回旋管中的多晶CVD金剛石圓盤。圖片來源:卡爾斯魯厄理工學院因為核電能夠給人們提供...

日期 2018-08-07   

化學氣相沉積(CVD)技術梳理

1.化學氣相沉積CVD的來源及發(fā)展化學氣相沉積(ChemicalVaporDeposition)中的VaporDeposition意為氣相沉積,其意是指利用氣相中發(fā)生的...

日期 2018-03-07   
CVD / PVD

高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學氣相沉積研究

高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學氣相沉積研究
高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學氣相沉積研究
高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學氣相沉積研究

摘要:采用高功率微波等離子體化學氣相沉積法制備了高定向的納米金剛石膜,研究了制備過程中促進高定向納米金剛石膜的生長條件與生長規(guī)律間的關聯(lián),并采用掃描電鏡、原子...

日期 2018-02-12   
微波等離子體化學氣相沉積法生長單晶金剛石用的沉積臺

微波等離子體化學氣相沉積法生長單晶金剛石用的沉積臺

申請?zhí)?201720707933.3申請日:2017.06.16申請人:北京科技大學發(fā)明人:李成明;趙云;林亮珍...

日期 2018-01-08   
一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備

一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備

申請?zhí)?201720497623.3申請日:2017.05.05申請人:寧波工程學院發(fā)明人:王瑞來;鮑明東;徐雪...

日期 2018-01-02   
 一種用于微波等離子體化學氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺

一種用于微波等離子體化學氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺

申請?zhí)?201720527928.4申請日:2017.05.12申請人:中國工程物理研究院應用電子學研究所發(fā)明人...

日期 2017-12-22   
一種金剛石薄膜的射頻等離子化學氣相沉積裝置

一種金剛石薄膜的射頻等離子化學氣相沉積裝置

申請?zhí)?201720267999.5申請日:2017.03.20國家/省市:中國河南(41)主分類號:C23C1...

日期 2017-10-09   
一種可消除空氣相對濕度影響的金剛石選形方法

一種可消除空氣相對濕度影響的金剛石選形方法

申請?zhí)枺?01710238300.7申請人:廣西柳州華地探礦機械廠發(fā)明人:曾昭游齊飛黃佩銳樊帆于廣華姬日梅&

日期 2017-08-30   
一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備的吹氣裝置

一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備的吹氣裝置

申請?zhí)枺?01710313388.4申請人:寧波工程學院發(fā)明人:鮑明東徐雪波呂志甲楊夢夢馮超何驊波丁蘭&n

日期 2017-08-24   
利用化學氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法

利用化學氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法

申請?zhí)枺?01710072261.8申請人:上海交通大學上海交友鉆石涂層有限公司發(fā)明人:孫方宏申笑天王新昶郭松壽...

日期 2017-07-19   
一種用于微波等離子體化學氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺

一種用于微波等離子體化學氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺

申請?zhí)枺?01710334592.4申請人:中國工程物理研究院應用電子學研究所發(fā)明人:李文君周霖程云馮真李春霞單...

日期 2017-07-14   
化學氣相沉積金剛石刀具及其加工方法

化學氣相沉積金剛石刀具及其加工方法

申請?zhí)枺?01710197936.1申請人:深圳市中天超硬工具股份有限公司發(fā)明人:林漢生劉敏解宇摘要:本發(fā)明涉及...

日期 2017-07-05   
微波等離子體化學氣相沉積金剛石反應裝置

微波等離子體化學氣相沉積金剛石反應裝置

申請?zhí)枺?01710244693.2申請人:于宗旭發(fā)明人:于宗旭摘要:本發(fā)明為一種微波等離子體化學氣相沉積金剛石...

日期 2017-06-29   

離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬

離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬
離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬
離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬

摘要:本研究利用離子束輔助氣相沉積法(IBAD)對曲面襯底上沉積出的立方氮化硼(CBN)薄膜厚度分布進行模擬。沉積參數(shù)條件如下:(i)硼到達率為3.2?/s,(ii)離...

日期 2017-06-01   
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第六屆磨料磨具磨削展覽會暨2023金剛石產(chǎn)業(yè)大會

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2023年9月20日,時隔四年,期待已久的第六屆磨料磨具磨削展覽會在鄭州國際會展中心隆重開幕。本次展覽會由中國機械工業(yè)集團有限公司、國機精工股份有限公司、中國機械國際合作股份有限公司聯(lián)合主辦。旨在推動中國磨料磨具行業(yè)的快速發(fā)展,加強國內外企業(yè)的交流與合作。