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 一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器

一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器

申請(qǐng)?zhí)?一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器申請(qǐng)日:201720500248.3申請(qǐng)人:2017.04.26發(fā)明人:許...

日期 2018-01-29   
一種沉積制備金剛石的方法

一種沉積制備金剛石的方法

申請(qǐng)?zhí)枺?01710327863.3申請(qǐng)人:金華職業(yè)技術(shù)學(xué)院發(fā)明人:趙永建張向平許楊文

日期 2017-08-23   
一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器

一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器

申請(qǐng)?zhí)枺?01710321049.0申請(qǐng)人:金華職業(yè)技術(shù)學(xué)院發(fā)明人:趙永建張向平許楊文

日期 2017-08-16   
利用化學(xué)氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法

利用化學(xué)氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法

申請(qǐng)?zhí)枺?01710072261.8申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)上海交友鉆石涂層有限公司發(fā)明人:孫方宏申笑天王新昶郭松壽...

日期 2017-07-19   

不同襯底溫度下脈沖激光沉積制備a-SiC薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)特性

不同襯底溫度下脈沖激光沉積制備a-SiC薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)特性
不同襯底溫度下脈沖激光沉積制備a-SiC薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)特性
不同襯底溫度下脈沖激光沉積制備a-SiC薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)特性

引言納米結(jié)構(gòu)碳化硅的機(jī)械強(qiáng)度高、硬度高、化學(xué)惰性好,比傳統(tǒng)碳化硅材料要優(yōu)越許多。因此常用于硅基微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),壓力傳感器、核聚變裝置等設(shè)備中。納米碳化硅的發(fā)光效...

日期 2015-02-10   

化學(xué)氣相沉積制備硅摻雜微納復(fù)合金剛石薄膜的方法

申請(qǐng)?zhí)枺?01410005272申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)上海交友鉆石涂層有限公司蘇州交鉆納米超硬薄膜有限公司摘要:本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相沉積制備硅摻雜微納復(fù)合金剛石薄膜的...

日期 2014-05-23   

多元摻雜熱絲化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜的方法

專利號(hào):201210085095申請(qǐng)人:上海交通大學(xué);上海交友鉆石涂層有限公司技術(shù)簡(jiǎn)要說(shuō)明:本發(fā)明公開了一種多元摻雜熱絲化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜的方法

日期 2012-08-03   

回旋電子增強(qiáng)熱絲化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜的方法

名稱回旋電子增強(qiáng)熱絲化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜的方法公開號(hào)1355330公開日2002.06.26主分類號(hào)C23C1

日期 2010-12-21   

熱陰極輝光等離子體化學(xué)相沉積制備金剛石膜的工藝

名稱熱陰極輝光等離子體化學(xué)相沉積制備金剛石膜的工藝公開號(hào)1107900公開日1995.09.06主分類號(hào)C23C16

日期 2010-12-10   
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