申請?zhí)? 一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器 

申請日: 201720500248.3    

申請人: 2017.04.26

發(fā)明人: 許楊文; 趙永建; 張向平

       摘要： 

       本實用新型涉及金剛石制備領(lǐng)域，一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器，包括石英玻璃毛細(xì)管、鎢毛細(xì)管、冷卻氣出口、鉬制柱面體、電極、熱耦、冷卻水進(jìn)口、環(huán)形冷卻氣管、冷卻水管、冷卻水出口、反應(yīng)器腔體、冷卻氣進(jìn)口、氫氣進(jìn)口、噴嘴，鎢毛細(xì)管一端無接觸地通入鉬制柱面體另一端位于反應(yīng)器腔體外，鉬制柱面體是加熱器又是活化劑，電極由金屬鉬制成且電連接于鉬制柱面體兩端，通過加電流，能使鉬制柱面體加熱至2200K以上，鉬制柱面體與反應(yīng)器腔體之間絕緣；熱耦由鎢?錸材料制成用以測量鉬制柱面體溫度，調(diào)節(jié)環(huán)形冷卻氣管中的氬氣流速并使其保持在恒定值，就能夠使得熱耦尖端測溫區(qū)域的溫度僅與鉬制柱面體的溫度相關(guān)，能夠為鉬制柱面體準(zhǔn)確測溫。

       主權(quán)利要求:

       一種用于沉積制備金剛石的反應(yīng)器，主要包括石英玻璃毛細(xì)管(1)、鎢毛細(xì)管(2)、冷卻氣出口(3)、鉬制柱面體(4)、電極(6)、熱耦(7)、冷卻水進(jìn)口(8)、環(huán)形冷卻氣管(9)、冷卻水管(10)、冷卻水出口(11)、反應(yīng)器腔體(12)、冷卻氣進(jìn)口(13)、氫氣進(jìn)口(14)、噴嘴(15)，工作時，所述反應(yīng)器以及襯底(5)均位于一個真空腔內(nèi)；所述石英玻璃毛細(xì)管(1)套在所述鎢毛細(xì)管(2)外，所述石英玻璃毛細(xì)管(1)的一端連接所述鉬制柱面體(4)的一端且相互之間電絕緣、另一端封閉且所述鎢毛細(xì)管(2)從其中間透過，所述石英玻璃毛細(xì)管(1)具有連通的所述氫氣進(jìn)口(14)，所述氫氣進(jìn)口(14)位于所述反應(yīng)器腔體(12)之外；所述石英玻璃毛細(xì)管(1)內(nèi)壁與所述鎢毛細(xì)管(2)外壁之間的空間為用于通純氫氣的通道，所述石英玻璃毛細(xì)管(1)的外圍依次具有所述反應(yīng)器腔體(12)、環(huán)形冷卻氣管(9)、冷卻水管(10)，所述反應(yīng)器腔體(12)的外側(cè)面與所述環(huán)形冷卻氣管(9)的內(nèi)側(cè)面接觸，所述環(huán)形冷卻氣管(9)的外側(cè)面與所述冷卻水管(10)的內(nèi)側(cè)面接觸，所述環(huán)形冷卻氣管(9)及所述冷卻水管(10)均是作為流體通道的橫截面為環(huán)形的管，所述環(huán)形冷卻氣管(9)具有所述冷卻氣進(jìn)口(13)、冷卻氣出口(3)，所述環(huán)形冷卻氣管(9)中通有用于熱隔離的純氬氣且流速不超過700sccm，所述冷卻水管(10)具有所述冷卻水進(jìn)口(8)、冷卻水出口(11)，所述冷卻水管(10)中通冷卻水；所述噴嘴(15)由金屬鉬制成且位于所述鉬制柱面體(4)出口處，所述鉬制柱面體(4)處具有所述電極(6)、熱耦(7)，所述襯底(5)位于所述鉬制柱面體(4)的出口外側(cè)；其特征是：所述鎢毛細(xì)管(2)一端無接觸地通入所述鉬制柱面體(4)、另一端位于所述反應(yīng)器腔體(12)之外，所述鉬制柱面體(4)是加熱器又是主要活化劑，所述電極(6)由金屬鉬制成且分別電連接于所述鉬制柱面體(4)兩端，外接電源通過所述電極(6)對所述鉬制柱面體(4)加電流，能夠使所述鉬制柱面體(4)加熱至2200K以上，所述鉬制柱面體(4)與所述反應(yīng)器腔體(12)之間絕緣；所述熱耦(7)由鎢-錸材料制成，用以測量所述鉬制柱面體(4)的溫度，通過調(diào)節(jié)所述環(huán)形冷卻氣管(9)中的氬氣流速并使其保持在恒定值，就能夠使得所述熱耦(7)尖端測溫區(qū)域的溫度僅與所述鉬制柱面體(4)的溫度相關(guān)，能夠為所述鉬制柱面體(4)準(zhǔn)確測溫。