類金剛石薄膜作光學(xué)增透膜的新應(yīng)用
關(guān)鍵詞 類金剛石薄膜 , 光學(xué)增透膜 , 應(yīng)用 |2010-12-09 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱類金剛石薄膜作光學(xué)增透膜的新應(yīng)用公開號(hào)1076552公開日1993.09.22主分類號(hào)H01L31/0216
名稱 |
類金剛石薄膜作光學(xué)增透膜的新應(yīng)用 |
公開號(hào) |
1076552 |
公開日 |
1993.09.22 |
主分類號(hào) |
H01L31/0216 |
分類號(hào) |
H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/18;C23C16/26;C23C16 |
申請?zhí)?/strong> |
92108354.8 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
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申請日 |
1992.03.17 |
頒證日 |
上??茖W(xué)技術(shù)大學(xué) |
優(yōu)先權(quán) |
201800上海市嘉定縣南門城中路20號(hào) |
申請人 |
夏義本; 安其霖; 居建華; 史偉民; 王鴻 |
地址 |
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發(fā)明人 |
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國際申請 |
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國際公布 |
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進(jìn)入國家日期 |
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專利代理機(jī)構(gòu) |
上海高校專利事務(wù)所 |
代理人 |
張建成 |
摘要 |
類金剛石薄膜以高頻等離子體氣相淀積法,涂覆于硅太陽能與紅外探測器上,具有增透膜的用途。本發(fā)明解決了該類光電器件原有增透膜的光電轉(zhuǎn)換率及光透性差問題,特別是應(yīng)用于硅太陽能電池上,已使其光譜響應(yīng)明顯提高;短路電流增加率達(dá)37.9%,也已接近40%理論值;于600~700nm波長內(nèi)量子效率近于1。用于紅外探測器特別是碲鎘汞材料所制器件,既解決了8~14μm光增透材料,而且使透射率平均提高16%。 |
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