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類金剛石薄膜作光學(xué)增透膜的新應(yīng)用

關(guān)鍵詞 類金剛石薄膜 , 光學(xué)增透膜 , 應(yīng)用 |2010-12-09 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱類金剛石薄膜作光學(xué)增透膜的新應(yīng)用公開號(hào)1076552公開日1993.09.22主分類號(hào)H01L31/0216

 

名稱 金剛石薄膜作光學(xué)增透膜的新應(yīng)用 
公開號(hào) 1076552    公開日 1993.09.22   
主分類號(hào) H01L31/0216  分類號(hào) H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/18;C23C16/26;C23C16 
申請?zhí)?/strong> 92108354.8   
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 1992.03.17   
頒證日 上??茖W(xué)技術(shù)大學(xué)    優(yōu)先權(quán) 201800上海市嘉定縣南門城中路20號(hào)  
申請人 夏義本; 安其霖; 居建華; 史偉民; 王鴻    地址  
發(fā)明人   國際申請  
國際公布    進(jìn)入國家日期  
專利代理機(jī)構(gòu) 上海高校專利事務(wù)所  代理人 張建成   
摘要   類金剛石薄膜以高頻等離子體氣相淀積法,涂覆于硅太陽能與紅外探測器上,具有增透膜的用途。本發(fā)明解決了該類光電器件原有增透膜的光電轉(zhuǎn)換率及光透性差問題,特別是應(yīng)用于硅太陽能電池上,已使其光譜響應(yīng)明顯提高;短路電流增加率達(dá)37.9%,也已接近40%理論值;于600~700nm波長內(nèi)量子效率近于1。用于紅外探測器特別是碲鎘汞材料所制器件,既解決了8~14μm光增透材料,而且使透射率平均提高16%。  
 

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