申請(qǐng)人: 安徽純?cè)村兡た萍加邢薰?
       發(fā)明人: 張心鳳; 鄭杰; 尹輝
       摘要： 本實(shí)用新型公開了一種類金剛石薄膜離子源中離子的引出裝置，包括安裝于保護(hù)外殼左端的隔板，隔板中部橫向安裝有工藝氣體進(jìn)氣管，隔板左端面安裝有內(nèi)部擋板，內(nèi)部擋板外周的隔板上固定有安裝法蘭，安裝法蘭上安裝有離子源擋圈，內(nèi)部擋板外側(cè)間隔安裝有工藝氣體擴(kuò)散板，工藝氣體擴(kuò)散板外周設(shè)有貫穿安裝在內(nèi)部擋板和隔板上的陽(yáng)極，陽(yáng)極與工藝氣體擴(kuò)散板之間鎢絲。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎，通過(guò)工藝氣體擴(kuò)散板及陽(yáng)極的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以有效提高工藝氣體擴(kuò)散均勻性，從而使薄膜的均勻性提高和沉積速率，而且二者可調(diào)節(jié)。  

主權(quán)利要求：
       一種類金剛石薄膜離子源中離子的引出裝置，包括安裝于保護(hù)外殼左端的隔板，隔板中部橫向安裝有工藝氣體進(jìn)氣管，隔板左端面安裝有內(nèi)部擋板，內(nèi)部擋板外周的隔板上固定有安裝法蘭，其特征在于，所述的安裝法蘭上安裝有離子源擋圈，內(nèi)部擋板外側(cè)間隔安裝有工藝氣體擴(kuò)散板，工藝氣體擴(kuò)散板外周設(shè)有貫穿安裝在內(nèi)部擋板和隔板上的陽(yáng)極，陽(yáng)極與工藝氣體擴(kuò)散板之間設(shè)有鎢絲。