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具有預(yù)定的α碳化硅區(qū)的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及此半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的應(yīng)用

關(guān)鍵詞 α碳化硅區(qū) , 半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)|2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱具有預(yù)定的α碳化硅區(qū)的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及此半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的應(yīng)用公開(kāi)號(hào)1267397公開(kāi)日2000.09.20主分類(lèi)號(hào)

 

名稱 具有預(yù)定的α碳化硅區(qū)的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及此半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的應(yīng)用 
公開(kāi)號(hào) 1267397  公開(kāi)日 2000.09.20   
主分類(lèi)號(hào) H01L29/24  分類(lèi)號(hào) H01L29/24;H01L29/78;H01L29/739 
申請(qǐng)?zhí)?/strong> 98808324.8   
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>   申請(qǐng)日 1998.04.01   
頒證日   優(yōu)先權(quán) [32]1997.8.20[33]DE[31]19736211.7 
申請(qǐng)人 西門(mén)子公司    地址 德國(guó)慕尼黑  
發(fā)明人 萊因霍爾德·肖納; 迪特里希·斯蒂法妮; 德薩德·彼得  國(guó)際申請(qǐng) PCT.DE98/00931 1998.4.1 
國(guó)際公布 WO99.9598 德 1999.2.25  進(jìn)入國(guó)家日期 2000.02.21  
專利代理機(jī)構(gòu) 柳沈知識(shí)產(chǎn)權(quán)律師事務(wù)所    代理人 侯宇   
摘要   本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)(HS),它包括至少一個(gè)α碳化硅區(qū)(3、10、11)和一個(gè)例如為氧化層的電絕緣區(qū)(13a)以及一個(gè)在它們之間的界面(20)。通過(guò)為至少一個(gè)鄰近界面的區(qū)選擇一種能帶寬度比6H碳化硅多型的能帶寬度小的α碳化硅多型,提高了在此區(qū)內(nèi)載流子的遷移率。
 

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