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微波輔助類金剛石薄膜包覆玻璃纖維的復(fù)合纖維制備方法

關(guān)鍵詞 類金剛石薄膜 , 玻璃纖維 , 復(fù)合纖維|2012-08-21 09:38:31|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱微波輔助類金剛石薄膜包覆玻璃纖維的復(fù)合纖維制備方法申請?zhí)?01210143782申請日2012年5月10日公開號102627413A

 

名稱 微波輔助類金剛石薄膜包覆玻璃纖維復(fù)合纖維制備方法
申請?zhí)?/strong> 201210143782 申請日 2012年5月10日
公開號 102627413A 公開日 2012年8月8日
代理機(jī)構(gòu) 蘭州中科華西專利代理有限公司( 62002 ) 代理人 李艷華
申請人 蘭州大學(xué) 地址 甘肅省蘭州市城關(guān)區(qū)天水南路222號
發(fā)明人  謝二慶 陳萬軍 何勇民 主分類號 C03C 25/22
國家/省市 中國甘肅( 62 ) 分類號 C03C 25/22 C03C 25/44 C23C 16/27 C23C 16/511
摘要   本發(fā)明涉及一種微波輔助類金剛石薄膜包覆玻璃纖維的復(fù)合纖維制備方法,該方法包括以下步驟:⑴啟動微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),抽真空;⑵將天然氣通入圓柱形不銹鋼真空室,使其均勻充滿整個(gè)圓柱形不銹鋼真空室;⑶啟動微波源,使微波源產(chǎn)生的微波在錐形金屬滾筒內(nèi)激發(fā)等離子體,將天然氣充分分解為具有活性的碳?xì)浼瘓F(tuán);⑷將原料玻璃纖維加入錐形金屬滾筒內(nèi);⑸啟動電動機(jī),使原料均勻分散并發(fā)生離心運(yùn)動,與此同時(shí),天然氣分解產(chǎn)生的碳?xì)浼瘓F(tuán)在玻璃纖維表面沉積并生長成類金剛石薄膜,形成復(fù)合纖維——類金剛石包覆的玻璃纖維并定時(shí)排出;⑹重復(fù)⑴~⑸步驟;⑺生產(chǎn)結(jié)束后,關(guān)閉所有閥門及微波源和電動機(jī)。本發(fā)明成本廉價(jià)、實(shí)施簡單、便于操作。
獨(dú)立權(quán)利要求 1.微波輔助類金剛石薄膜包覆玻璃纖維的復(fù)合纖維制備方法,包括以下步驟:⑴啟動微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),通過抽氣閥(16)將圓柱形不銹鋼真空室(1)內(nèi)的真空抽到10-3Pa以下;⑵通過所述微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的進(jìn)氣閥(15)將天然氣通入所述圓柱形不銹鋼真空室(1),使其均勻充滿整個(gè)所述圓柱形不銹鋼真空室(1);⑶啟動微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的微波源(3),使所述微波源(3)產(chǎn)生的微波通過波導(dǎo)管(4)從左石英窗口(2)進(jìn)入所述圓柱形不銹鋼真空室(1),并在所述微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的錐形金屬滾筒(5)內(nèi)激發(fā)等離子體,將天然氣充分分解為具有活性的碳?xì)浼瘓F(tuán);⑷將所述微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中儲料室(13)內(nèi)的原料玻璃纖維通過加料閥(12)加入所述錐形金屬滾筒(5)內(nèi);⑸啟動微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的電動機(jī)(6);所述電動機(jī)(6)驅(qū)動轉(zhuǎn)軸(7)通過右側(cè)石英窗口(2)中心的法蘭及軸承(8)和所述圓柱形不銹鋼真空室(1)內(nèi)所述錐形金屬滾筒(5)右端的十字支架(9)帶動所述錐形金屬滾筒(5)連同其內(nèi)壁的撥片(10)轉(zhuǎn)動,連續(xù)不斷地將聚集在所述錐形金屬滾筒(5)底端的原料從底端運(yùn)送到頂端再在重力的作用下下落,隨著所述錐形金屬滾筒(5)的旋轉(zhuǎn),使原料均勻分散并發(fā)生離心運(yùn)動而向右端運(yùn)動,與此同時(shí),天然氣分解產(chǎn)生的碳?xì)浼瘓F(tuán)在玻璃纖維表面沉積并生長成類金剛石薄膜,形成復(fù)合纖維——類金剛石包覆的玻璃纖維,最終從所述錐形金屬滾筒(5)右端通過出料閥(14)定時(shí)排出;沒有完全反應(yīng)的氣體通過抽氣閥(16)排出所述圓柱形不銹鋼真空室(1)外;⑹重復(fù)⑴~⑸步驟;⑺生產(chǎn)結(jié)束后,關(guān)閉所述進(jìn)氣閥(15)、抽氣閥(16)、加料閥(12)、出料閥(14)及微波源(3)和電動機(jī)(6)。

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