申請?zhí)枺?01310074074

       申請人：北京科技大學(xué)

       摘要：本發(fā)明為一種快速制備類金剛石薄膜的方法及裝備。采用射頻空心陰極效應(yīng)，將等離子體束縛在一個特定的區(qū)域，負輝區(qū)合并，氣體離化率成倍增加。同時，射頻輝光放電過程中，電子被束縛在電極間，在放電空間來回運動，增加了與氣體分子碰撞的次數(shù)，使電離能力顯著提高從而提高等離子體的密度和能量，進而提高薄膜的沉積速率和膜質(zhì)量，并顯著提高生產(chǎn)效率，降低產(chǎn)品成本，易于實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。

       獨立權(quán)利要求：1.一種快速沉積類金剛石薄膜的裝置，所述裝置包括真空室、真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、工件裝卡及旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、工作氣體及反應(yīng)氣體的供給及流量控制系統(tǒng)；其特征在于：所述裝置還包括一射頻空心陰極系統(tǒng)，所述系統(tǒng)為平板型，包括上陰極板及下陰極板，所述任一極板一側(cè)設(shè)有氣路接口，氣體通過該極板供給，基片放在另一極板上；下陰極板安裝在工件裝卡及旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)支架上，氣體由真空室通氣口供給；上下陰極板通過三個長度可調(diào)螺桿連接，通過調(diào)整配套的螺母，調(diào)節(jié)兩極板板間距，空心陰極系統(tǒng)通過下陰極板連接射頻電源進行供電。