申請(qǐng)?zhí)枺?01510211641.6
　　申請(qǐng)人：河北普萊斯曼金剛石科技有限公司
　　發(fā)明人：羅廷禮 蔡云虹 張平偉 張雅淋

　　摘要：一種金剛石膜熱導(dǎo)率檢測(cè)方法，按照下述步驟進(jìn)行：a、取待檢測(cè)金剛石膜片；b、將待檢測(cè)的金剛石膜片在激光切割機(jī)上切取樣條；c、將樣條進(jìn)行三點(diǎn)抗彎強(qiáng)度檢測(cè)，求得樣條三點(diǎn)抗彎斷裂強(qiáng)度Rf值；d、由公式λ=Rf/A計(jì)算出所述金剛石膜片的熱導(dǎo)率λ；公式中A為與所述金剛石膜片的制膜工藝相對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)，該比例系數(shù)預(yù)先經(jīng)試驗(yàn)得出。本發(fā)明利用金剛石膜的三點(diǎn)抗彎斷裂強(qiáng)度Rf來快速估算金剛石膜的熱導(dǎo)率λ，對(duì)測(cè)試環(huán)境條件要求寬松，檢測(cè)誤差低。采用本發(fā)明方法，生產(chǎn)廠家可以對(duì)所生產(chǎn)金剛石膜產(chǎn)品快速、低成本的給出熱導(dǎo)率λ值，為調(diào)整生產(chǎn)工藝提供重要的參考數(shù)據(jù)，為用戶提供產(chǎn)品的熱導(dǎo)率參數(shù)值。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石膜熱導(dǎo)率檢測(cè)方法，其特征在于：所述檢測(cè)方法按照下述步驟進(jìn)行：a、取待檢測(cè)金剛石膜片；b、將待檢測(cè)的金剛石膜片在激光切割機(jī)上切取條狀，稱為樣條；c、將樣條沿長(zhǎng)度方向的兩端分別支撐在支點(diǎn)上，將壓力施加在樣條的中分線上，緩慢施加壓力，至樣條斷裂，記錄此時(shí)的壓力數(shù)值；同時(shí)，記錄實(shí)驗(yàn)時(shí)的樣條跨距L、樣條寬度b、樣條厚度h、載荷P，而后代入三點(diǎn)抗彎強(qiáng)度計(jì)算公式：Rf=3·p·L/（2b·h2），求得樣條三點(diǎn)抗彎斷裂強(qiáng)度Rf值，其中載荷P的單位是N，樣條跨距L、樣條寬度b、樣條厚度h的單位是mm，Rf單位是MPa；d、由公式λ=Rf/A計(jì)算出所述金剛石膜片的熱導(dǎo)率λ；公式中Rf的單位為MPa；A為與所述金剛石膜片的制膜工藝相對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)，單位為MPa·cm·K·W-1，λ為被檢測(cè)金剛石膜片的熱導(dǎo)率，單位為W/cm·K。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石膜熱導(dǎo)率檢測(cè)方法，其特征在于：所述強(qiáng)度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)A按照如下方式得出：任取一金剛石膜片作為測(cè)試樣本，測(cè)試樣本的制膜工藝與待檢測(cè)金剛石膜片的制膜工藝相同，利用TPDS-金剛石薄膜熱導(dǎo)率光熱偏轉(zhuǎn)測(cè)試儀測(cè)出測(cè)試樣本的熱導(dǎo)率λ，而后采用與上述b步驟、c步驟相同的方法測(cè)出該測(cè)試樣本的三點(diǎn)抗彎斷裂強(qiáng)度Rf，再由公式λ= Rf/ A即可求出與測(cè)試樣本的制膜工藝相對(duì)應(yīng)的金剛石膜強(qiáng)度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)A。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金剛石膜熱導(dǎo)率檢測(cè)方法，其特征在于：所述b步驟中樣條切取方式如下：由距離金剛石膜片邊緣2-3毫米處，沿徑向向中心方向切取，樣條長(zhǎng)度S=5-6毫米，樣條寬度b為1-1.2毫米。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的金剛石膜熱導(dǎo)率檢測(cè)方法，其特征在于：所述c步驟中樣條厚度h=h實(shí)- h修，其中h實(shí)為樣條實(shí)測(cè)厚度，h修為考慮金剛石膜表明粗糙度的修正值，當(dāng)樣條h實(shí)小于400μ時(shí)h修為10μm，當(dāng)樣條h實(shí)大于700μm時(shí)h修為30μm，當(dāng)樣條h實(shí)400μm～700μm時(shí)h修為20μm。