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光智科技取得制備多晶金剛石膜沉積臺(tái)專(zhuān)利,有效避免微波放電“邊沿效應(yīng)”影響

關(guān)鍵詞 光智科技 , 多晶金剛石膜沉積臺(tái) , 專(zhuān)利|2025-03-21 08:41:25|行業(yè)專(zhuān)利|來(lái)源 金融界
摘要 金融界2025年3月20日消息,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,安徽光智科技有限公司取得一項(xiàng)名為“種用于制備多晶金剛石膜的沉積臺(tái)”的專(zhuān)利,授權(quán)公告號(hào)CN222631617U,申請(qǐng)日期為20...

       金融界2025年3月20日消息,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,安徽光智科技有限公司取得一項(xiàng)名為“種用于制備多晶金剛石膜的沉積臺(tái)”的專(zhuān)利,授權(quán)公告號(hào) CN 222631617 U,申請(qǐng)日期為2024年3月。

       專(zhuān)利摘要顯示,本申請(qǐng)公開(kāi)了一種用于制備多晶金剛石膜的沉積臺(tái),化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,包括沉積臺(tái)本體;沉積臺(tái)本體頂部設(shè)有供襯底置入的定位凹槽;凹槽底部邊緣設(shè)有環(huán)形隔離凹槽;環(huán)形隔離凹槽用于將置入定位凹槽的襯底的邊緣與沉積臺(tái)本體隔離。其在沉積臺(tái)本體頂部開(kāi)設(shè)供襯底置入的定位凹槽,以實(shí)現(xiàn)對(duì)襯底的定位安裝,再通過(guò)定位凹槽底部邊緣的環(huán)形隔離凹槽,將置入的襯底的邊緣與沉積臺(tái)本體隔離開(kāi),避免襯底的邊緣接觸到沉積臺(tái)本體。從而有效避免微波放電的“邊沿效應(yīng)”對(duì)襯底溫度的影響,保證沉積臺(tái)及襯底的邊緣溫度與中心溫度差較小,達(dá)到了制備同一等級(jí)金剛石膜的溫度要求。

       天眼查資料顯示,安徽光智科技有限公司,成立于2018年,位于滁州市,是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本90000萬(wàn)人民幣,實(shí)繳資本90000萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析,安徽光智科技有限公司共對(duì)外投資了5家企業(yè),參與招投標(biāo)項(xiàng)目77次,財(cái)產(chǎn)線(xiàn)索方面有商標(biāo)信息20條,專(zhuān)利信息767條,此外企業(yè)還擁有行政許可43個(gè)。


 

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