申請?zhí)枺?01580032108.1
　　申請人：阪東化學(xué)株式會社
　　發(fā)明人：向史博 田浦歳和

　　摘要： 本發(fā)明的目的是提供一種能以高水平兼顧加工效率與精加工平坦性的研磨墊。本發(fā)明的研磨墊具有基材、及層疊于所述基材的表面?zhèn)鹊难心?，且其特征在于：所述研磨層具有以樹脂或無機物為主成分的粘合劑、及分散于所述粘合劑中的金剛石研磨粒，所述金剛石研磨粒的平均形狀系數(shù)為1以上、1.33以下。所述粘合劑的主成分可為熱硬化性樹脂或光硬化性樹脂。所述粘合劑的主成分可為硅酸鹽。所述研磨層在表面可具有多個凸?fàn)畈?，所述多個凸?fàn)畈靠梢?guī)則地排列。在所述基材的背面?zhèn)瓤删哂姓辰訉?。所述粘接層可由粘著劑?gòu)成。所述基材可具有可撓性或延性。 　　主權(quán)利要求：1.一種研磨墊，其具有基材、及層疊于所述基材的表面?zhèn)鹊难心樱宜鲅心|的特征在于：所述研磨層具有以樹脂或無機物為主成分的粘合劑、及分散于所述粘合劑中的金剛石研磨粒，所述金剛石研磨粒的平均形狀系數(shù)為1以上、1.33以下。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其中所述粘合劑的主成分為熱硬化性樹脂或光硬化性樹脂。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其中所述粘合劑的主成分為硅酸鹽。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的研磨墊，其中所述研磨層在表面具有多個凸?fàn)畈?，所述多個凸?fàn)畈恳?guī)則地排列。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的研磨墊，其中在所述基材的背面?zhèn)染哂姓辰訉印?br /> 　　6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨墊，其中所述粘接層由粘著劑構(gòu)成。
　　7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的研磨墊，其中所述基材具有可撓性或延性。
　　8.一種研磨墊的制造方法，其制造具有基材、及層疊于所述基材的表面?zhèn)鹊难心拥难心|，且所述制造方法的特征在于包括通過研磨層用組合物的印刷而形成所述研磨層的步驟，在所述研磨層形成步驟中，使用研磨層用組合物，所述研磨層用組合物具有以樹脂或無機物為主成分的粘合劑成分、及平均形狀系數(shù)為1以上、1.33以下的金剛石研磨粒。