碳化硅半導(dǎo)體開關(guān)器件
關(guān)鍵詞 碳化硅半導(dǎo)體 , 開關(guān)器件 |2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱碳化硅半導(dǎo)體開關(guān)器件公開號1286805公開日2001.03.07主分類號H01L29/04
名稱 |
碳化硅半導(dǎo)體開關(guān)器件 |
公開號 |
1286805 |
公開日 |
2001.03.07 |
主分類號 |
H01L29/04 |
分類號 |
H01L29/04 |
申請?zhí)?/strong> |
98813915.4 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
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申請日 |
1998.03.19 |
頒證日 |
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優(yōu)先權(quán) |
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申請人 |
株式會社日立制作所 |
地址 |
日本東京都 |
發(fā)明人 |
大野俊之;巖崎貴之;八尾勉 |
國際申請 |
PCT.JP98/01185 1998.3.19 |
國際公布 |
WO99.48153 日 1999.9.23 |
進(jìn)入國家日期 |
2000.09.18 |
專利代理機(jī)構(gòu) |
中國專利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
吳增勇;葉愷東 |
摘要 |
本半導(dǎo)體開關(guān)器件包括具有第一導(dǎo)電類型的六角形對稱碳化硅單晶和具有與第一導(dǎo)電類型相反的第二導(dǎo)電類型并位于碳化硅單晶內(nèi)的半導(dǎo)體區(qū)域。在第一導(dǎo)電類型的碳化硅單晶和第二導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體區(qū)域之間形成pn結(jié)。pn結(jié)果面包括從碳化硅單晶表面開始沿著深度方向延伸的界面,而延伸的界面包括與碳化硅單晶(1120)取向平行或大致與之平行的晶面。因此減小漏電流。 |
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