本實用新型涉及一種改進結(jié)構(gòu)的研磨盤，研磨盤主要有一基板結(jié)合于研磨機具上，基板異于研磨機具一側(cè)結(jié)合一主盤體，主盤體異于基板一側(cè)貼合一具通孔的研磨層，主盤體朝研磨層一側(cè)設(shè)有一環(huán)溝，環(huán)溝周緣設(shè)有數(shù)約朝研磨盤旋轉(zhuǎn)切線方向傾斜延伸出外緣的導(dǎo)槽，環(huán)溝上穿設(shè)有數(shù)排塵孔，且基板相對各排塵孔位置設(shè)有穿 孔。藉此，研磨盤旋轉(zhuǎn)研磨時，傾斜的導(dǎo)槽可使氣流竄入，有效提高排除研磨中灰塵的效率。
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