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改進(jìn)結(jié)構(gòu)的研磨盤(pán)

關(guān)鍵詞 研磨盤(pán)|2006-01-03 00:00:00|技術(shù)信息|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 本實(shí)用新型涉及一種改進(jìn)結(jié)構(gòu)的研磨盤(pán)，研磨盤(pán)主要有一基板結(jié)合于研磨機(jī)具上，基板異于研磨機(jī)具一側(cè)結(jié)合一主盤(pán)體，主盤(pán)體異于基板一側(cè)貼合一具通孔的研磨層，主盤(pán)體朝研磨層一側(cè)設(shè)有一環(huán)溝，環(huán)溝...

　　本實(shí)用新型涉及一種改進(jìn)結(jié)構(gòu)的研磨盤(pán)，研磨盤(pán)主要有一基板結(jié)合于研磨機(jī)具上，基板異于研磨機(jī)具一側(cè)結(jié)合一主盤(pán)體，主盤(pán)體異于基板一側(cè)貼合一具通孔的研磨層，主盤(pán)體朝研磨層一側(cè)設(shè)有一環(huán)溝，環(huán)溝周緣設(shè)有數(shù)約朝研磨盤(pán)旋轉(zhuǎn)切線(xiàn)方向傾斜延伸出外緣的導(dǎo)槽，環(huán)溝上穿設(shè)有數(shù)排塵孔，且基板相對(duì)各排塵孔位置設(shè)有穿 孔。藉此，研磨盤(pán)旋轉(zhuǎn)研磨時(shí)，傾斜的導(dǎo)槽可使氣流竄入，有效提高排除研磨中灰塵的效率。
 

 

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