制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置
關(guān)鍵詞 制備 , 類金剛石薄膜 , 電化學 , 沉積|2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置公開號1205367公開日1999.01.20主分類號C25D9/08&
名稱 |
制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置 |
公開號 |
1205367 |
公開日 |
1999.01.20 |
主分類號 |
C25D9/08 |
分類號 |
C25D9/08 |
申請?zhí)?/strong> |
97111993.7 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
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申請日 |
1997.07.10 |
頒證日 |
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優(yōu)先權(quán) |
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申請人 |
北京理工大學 |
地址 |
100081北京市海淀區(qū)白石橋路7號 |
發(fā)明人 |
汪浩; 朱鶴孫 |
國際申請 |
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國際公布 |
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進入國家日期 |
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專利代理機構(gòu) |
北京理工大學專利事務(wù)所 |
代理人 |
付雷杰 |
摘要 |
一種類金剛石薄膜的新制備方法,采用電化學沉積技術(shù),以高頻脈沖調(diào)制直流高壓電源提供能量,選擇甲醇作為電沉積溶液,在液相中制備出了類金剛石薄膜。這種薄膜是不含氫的具有非晶結(jié)構(gòu)的類金剛石碳膜,具有一定的耐化學腐蝕能力,其電阻率在10#+[7]Ω.cm量級,顯微硬度在12~15GPa之間。由于該方法具有沉積溫度低,成膜均勻性好,反應(yīng)條件容易控制,設(shè)備簡單的特點,因此有很好的應(yīng)用前景 |
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