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制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置

關(guān)鍵詞 制備 , 類金剛石薄膜 , 電化學 , 沉積|2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置公開號1205367公開日1999.01.20主分類號C25D9/08&

 

名稱 制備金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置 
公開號 1205367  公開日 1999.01.20   
主分類號 C25D9/08  分類號 C25D9/08 
申請?zhí)?/strong> 97111993.7   
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 1997.07.10   
頒證日   優(yōu)先權(quán)  
申請人 北京理工大學    地址 100081北京市海淀區(qū)白石橋路7號  
發(fā)明人 汪浩; 朱鶴孫    國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構(gòu) 北京理工大學專利事務(wù)所    代理人 付雷杰   
摘要   一種類金剛石薄膜的新制備方法,采用電化學沉積技術(shù),以高頻脈沖調(diào)制直流高壓電源提供能量,選擇甲醇作為電沉積溶液,在液相中制備出了類金剛石薄膜。這種薄膜是不含氫的具有非晶結(jié)構(gòu)的類金剛石碳膜,具有一定的耐化學腐蝕能力,其電阻率在10#+[7]Ω.cm量級,顯微硬度在12~15GPa之間。由于該方法具有沉積溫度低,成膜均勻性好,反應(yīng)條件容易控制,設(shè)備簡單的特點,因此有很好的應(yīng)用前景 
 

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