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申請?zhí)枺?01610114275.7
申請人:上??葡揖芄ぞ哂邢薰?br />
發(fā)明人:滕守斌
摘要:本發(fā)明公開了一種
金剛石涂層
刀具退涂的方法,將磨損后的
金剛石涂層刀具用丙酮或酒精清洗干凈;將清洗干凈后的金剛石涂層刀具固定于等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的樣品臺中央,待等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備抽真空加熱后通入氧氣和3GHz微波等離子束,使得刀具表面的金剛石涂層在等離子作用下燃燒成微顆粒,冷卻后取出刀具;用丙酮清洗去除微粒,露出刀具基體,退涂過程完成,本發(fā)明方法簡單方便,適合規(guī)模化生產(chǎn),生產(chǎn)效率高。
主權(quán)利要求:1.一種金剛石涂層刀具退涂的方法,其特征在于包括以下步驟:(1)將磨損后的金剛石涂層刀具用丙酮或酒精清洗干凈;(2)將清洗干凈的金剛石涂層刀具固定于等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的樣品臺中央,待等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備抽真空加熱后通入氧氣和3GHz微波等離子束,使得刀具表面的金剛石涂層在等離子作用下燃燒成微顆粒,冷卻后取出刀具;(3)取出刀具后用丙酮清洗去除微粒,露出刀具基體,退涂過程完成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石涂層刀具退涂的方法,其特征是:所述第(2)步驟中等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的真空室抽真空后的壓力不高于100Pa。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石涂層刀具退涂的方法,其特征是:所述第(2)步驟中所述氧氣的輸入速度不低于0.3升/分鐘,并且通入氧氣后保持的壓力不低于3000Pa。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石涂層刀具退涂的方法,其特征是:所述第(2)步驟中金剛石涂層在等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備真空室內(nèi)的燃燒溫度超過1100℃。
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