申請(qǐng)?zhí)枺?01510262128.X
　　申請(qǐng)人：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
　　發(fā)明人：王晶晶 馮志紅 何澤召

　　摘要：本發(fā)明公開了一種三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器及其制備方法，涉及半導(dǎo)體器件的制作方法技術(shù)領(lǐng)域。所述傳感器包括金剛石基片，所述金剛石基片的上、下表面形成有氫端基金剛石層，每層氫端基金剛石層上形成有漏電極和源電極，所述漏電極和源電極之間的氫端基金剛石層上形成有捕獲層，所述捕獲層上形成有柵電極。所述傳感器具有高效率、高靈敏度、分析速度快、體積小、試樣用量少，成本低、易于大批量制備的優(yōu)點(diǎn)。 　　主權(quán)利要求：1.一種三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器，其特征在于：所述傳感器包括金剛石基片（1），所述金剛石基片（1）的上、下表面形成有氫端基金剛石層（2），每層氫端基金剛石層（2）上形成有漏電極（3）和源電極（4），所述漏電極（3）和源電極（4）之間的氫端基金剛石層（2）上形成有捕獲層（5），所述捕獲層（5）上形成有柵電極（6）。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器，其特征在于：所述漏電極（3）和源電極（4）的制作材料為Au、Ti、Pt、Ag、Cr、Cu中的一種或幾種。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器，其特征在于：所述捕獲層（5）的制作材料為金屬、金屬的氧化物或金屬的氮化物。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器，其特征在于：所述捕獲層（5）的制作材料為Au，Ti，Pt，Ag，Cr，Cu中的一種或幾種。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器，其特征在于：所述捕獲層（5）的制作材料為Al2O3，NiOx，SnOx，TiOx、W2O5、ZrO或ZnOLangmuir-Blodegett 膜。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器，其特征在于：所述柵電極（6）的制作材料為Al，Ni，Sn，Ti，W，Ag中的一種或幾種。
　　7.一種三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器制作方法，其特征在于包括如下步驟： 1）在金剛石基片（1）的上下表面制備氫端基金剛石層（2）； 2）分別在氫端基金剛石層（2）表面制作源電極（4）和漏電極（3）； 3）在源電極（4）與漏電極（3）間的氫端基金剛石層（2）上沉積捕獲層（5）； 4）在捕獲層（5）上制作柵電極（6）。
　　8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器制作方法，其特征在于：所述步驟1）中通過氫等離子體處理、直流電弧、高溫退火或高溫高壓方法在金剛石表面制作氫端基金剛石層（2）。
　　9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器制作方法，其特征在于：所述漏電極（3）和源電極（4）的制作材料為Au、Ti、Pt、Ag、Cr、Cu中的一種或幾種；所述柵電極的制作材料為Al，Ni，Sn，Ti，W，Ag中的一種或幾種。
　　10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三維結(jié)構(gòu)的氫終端金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管生物傳感器制作方法，其特征在于：所述捕獲層（5）的制作材料為金屬、金屬的氧化物或金屬的氮化物。