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專利:一種硅棒拋光裝置

關(guān)鍵詞 硅棒 , 拋光裝置|2015-02-09 09:40:55|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 申請?zhí)枺?01420511736.0申請人:中衛(wèi)市銀陽新能源有限公司摘要:本實用新型公開了一種硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)和砂輪,所述砂輪螺接在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動軸上;還包括防
  申請?zhí)枺?01420511736.0

       申請人:中衛(wèi)市銀陽新能源有限公司

       摘要: 本實用新型公開了一種硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)和砂輪,所述砂輪螺接在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動軸上;還包括防護(hù)罩和冷水箱,所述防護(hù)罩為環(huán)形,其內(nèi)部設(shè)置有冷卻槽,所述冷卻槽內(nèi)側(cè)設(shè)有噴水孔,所述防護(hù)罩固定在驅(qū)動機(jī)構(gòu)上;所述冷水箱通過管道與冷卻槽連通;所述砂輪為金剛石砂輪。本實用新型有效解決了硅棒上鋸痕、“鼓肚”等問題,且拋光過程中利用水冷卻,粉塵由水帶出,減少了對工作環(huán)境的污染。

       主權(quán)利要求:1.一種硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)和砂輪(2),所述砂輪(2)螺接在驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)的驅(qū)動軸上;其特征在于,還包括防護(hù)罩(3)和冷水箱(4),所述防護(hù)罩(3)為環(huán)形,其內(nèi)部設(shè)置有冷卻槽(301),所述冷卻槽(301)內(nèi)側(cè)設(shè)有噴水孔(302),所述防護(hù)罩(3)固定在驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)上;所述冷水箱(4)通過管道與冷卻槽(301)連通;所述砂輪(2)為金剛石砂輪。

       2.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述防 護(hù)罩(3)為截面呈“凹”形的環(huán)形防護(hù)罩,所述防護(hù)罩(3)端面內(nèi) 徑不大于砂輪直徑。

       3.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述防 護(hù)罩(3)通過螺栓固定在驅(qū)動機(jī)構(gòu)(1)上。

       4.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述噴 水孔(302)均勻設(shè)置在冷卻槽(301)內(nèi)側(cè)。

       5.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述防 護(hù)罩(3)為金屬防護(hù)罩。

       6.如權(quán)利要求1-5任一項所述的硅棒拋光裝置,其特征在于, 所述防護(hù)罩(3)底端設(shè)置有供冷卻水流出的開口。  
 

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