摘要 申請?zhí)枺?01620213665.5申請人:浙江晶盛機電股份有限公司發(fā)明人:傅林堅何守龍曹建偉沈文杰朱亮盧嘉彬邱文杰沈加富邱敏秀摘要:本實用新型涉及單晶硅棒加工專用切割設備,旨在提...
申請?zhí)枺?01620213665.5
申請人:浙江晶盛機電股份有限公司
發(fā)明人:傅林堅 何守龍 曹建偉 沈文杰 朱亮 盧嘉彬 邱文杰 沈加富 邱敏秀
摘要:本實用新型涉及
單晶硅棒加工專用切割設備,旨在提供一種
金剛線單晶硅棒
切方設備。該種金剛線單晶硅棒切方設備包括大底架、龍門架、排線安裝架、張力電機安裝架、張力電機、張力臂、工作臺頭座、工作臺尾座、排線部件、收放線部件、線偏檢測部件、進刀單元、過渡導輪、張力導輪,工作臺頭座和工作臺尾座之間用于夾持晶棒,且能夠控制晶棒沿工作臺頭座和工作臺尾座的軸線旋轉。本實用新型結構緊湊,布局合理;本實用新型采用
金剛石線鋸切割,切割刀痕小,切割面質量高,大大減少了原材料的損耗;本實用新型大大改善了工作環(huán)境,實現(xiàn)了環(huán)保生產(chǎn)。

主權利要求:1.一種金剛線單晶硅棒切方設備,包括大底架、龍門架、排線安裝架、張力電機安裝架、張力電機、張力臂、工作臺頭座、工作臺尾座、排線部件、收放線部件、線偏檢測部件、進刀單元、過渡導輪、張力導輪,其特征在于,所述龍門架設有兩個,分別為左龍門架和右龍門架;所述排線安裝架設有兩個,分別為左排線安裝架和右排線安裝架;所述張力電機安裝架設有兩個,分別為左張力電機安裝架和右張力電機安裝架;所述張力電機設有兩個,分別為左張力電機和右張力電機;所述張力臂設有兩個,分別為左張力臂和右張力臂;所述過渡導輪設有五個,分別為第一過渡導輪、第二過渡導輪、第三過渡導輪、第四過渡導輪和第五過渡導輪;所述張力導輪設有兩個,分別為左張力導輪和右張力導輪;所述進刀單元設有四個,分別為第一進刀單元、第二進刀單元、第三進刀單元和第四進刀單元;所述排線部件設有兩個,分別為左排線部件和右排線部件,排線部件用于將金剛石線均勻排布在收放線部件上;所述收放線部件設有兩個,分別為左收放線部件和右收放線部件,收放線部件用于實現(xiàn)金剛石線的往復運動;所述線偏檢測部件設有兩個,分別為左線偏檢測部件和右線偏檢測部件,線偏檢測部件用于檢測收放線部件上的金剛石線是否均勻分布;所述左排線安裝架安裝在大底架的左側,左排線部件安裝在左排線安裝架的上方;所述左收放線部件安裝在左排線部件的上方;所述左龍門架安裝在大底架的左上方,左張力電機安裝架安裝在左龍門架的上方,左線偏檢測部件安裝在左龍門架的外側,第一進刀單元和第四進刀單元安裝在左龍門架的內側;所述左張力電機安裝架上安裝有第一過渡導輪、第二過渡導輪、左張力電機、左張力臂,所述左張力導輪安裝在左張力臂上;所述右排線安裝架安裝在大底架的右側,右排線部件安裝在右排線安裝架的上方;所述右收放線部件安裝在右排線部件的上方;所述右龍門架安裝在大底架的右上方,右張力電機安裝架安裝在右龍門架的上方,右線偏檢測部件安裝在右龍門架的外側,第二進刀單元和第三進刀單元安裝在右龍門架的內側;所述右張力電機安裝架上安裝有第三過渡導輪、第四過渡導輪、右張力電機、右張力臂,所述右張力導輪安裝在右張力臂上;所述第五過渡導輪安裝在左龍門架和右龍門架之間;所述工作臺頭座和工作臺尾座安裝在大底架的正上方,工作臺頭座和工作臺尾座之間用于夾持晶棒,且能夠控制晶棒沿工作臺頭座和工作臺尾座的軸線旋轉。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設備,其特征在于,所述第一進刀單元上安裝有第一進刀導輪,第一進刀單元能夠獨立控制第一進刀導輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設備,其特征在于,所述第二進刀單元上安裝有第二進刀導輪,第二進刀單元能夠獨立控制第二進刀導輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設備,其特征在于,所述第三進刀單元上安裝有第三進刀導輪,第三進刀單元能夠獨立控制第三進刀導輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種金剛線單晶硅棒切方設備,其特征在于,所述第四進刀單元上安裝有第四進刀導輪,第四進刀單元能夠獨立控制第四進刀導輪在豎直方 向上的進刀速度和進刀深度。
6.根據(jù)權利要求1至5任意一項所述的一種金剛線單晶硅棒切方設備,其特征在于,所述第五過渡導輪上設有測速裝置,能夠對金剛石線的線速度進行實時檢測獲取。
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