申請?zhí)枺?01310731810

　　申請人：中國有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院有限公司

　　摘要：本發(fā)明公開了一種單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，包括切斷單晶硅棒的金剛石線鋸，所述金剛石線鋸包括兩條以上的環(huán)形金剛石鋸絲，各條環(huán)形金剛石鋸絲分別由不同的導(dǎo)輪組張緊而形成兩個以上的切割面，各切割面相互平行且之間的距離可調(diào)節(jié)；各條環(huán)形金剛石鋸絲對單晶硅棒的切割段處于與單晶硅棒軸線平行的同一平面上；所述切割段兩端的環(huán)形金剛石鋸絲上設(shè)有導(dǎo)向輪。本發(fā)明采用多條平行的環(huán)形金剛石鋸絲同時將單晶硅棒截斷多段，充分有效利用環(huán)形金剛石鋸絲單方向、無慣性力、高速運動的特性，相比金剛石單線鋸可提高加工效率3倍～5倍。

　　獨立權(quán)利要求：1.單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，包括切斷單晶硅棒（4）的金剛石線鋸，其特征在于：所述金剛石線鋸包括兩條以上的環(huán)形金剛石鋸絲（1），各條環(huán)形金剛石鋸絲（1）分別由不同的導(dǎo)輪組張緊而形成兩個以上的切割面，各切割面相互平行且之間的距離可調(diào)節(jié)。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：各條環(huán)形金剛石鋸絲（1）對單晶硅棒（4）的切割段處于與單晶硅棒（4）軸線平行的同一平面上。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述切割段兩端的環(huán)形金剛石鋸絲（1）上設(shè)有導(dǎo)向輪（3）。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：各導(dǎo)輪組中導(dǎo)輪（2）的個數(shù)為2個、或為3個、或為4個。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述導(dǎo)輪（2）中包括一個主動輪和一個張緊輪。