申請?zhí)枺?01420070116.8

　　申請人：河北普萊斯曼金剛石科技有限公司

　　摘要：一種用于化學氣相沉積的等離子炬，包括上部的陰極、位于陰極正下部的陽極、同心套裝在陰極外部的圓筒形輔助電極，輔助電極至少一個，陰極和輔助電極之間設有隔離密封環(huán)，相鄰的輔助電極之間設有隔離密封環(huán)，最外層輔助電極外部套裝有磁場線包，陽極為環(huán)形的中空管，并連接有兩個進出水導管。該炬能有效的防止電弧在陰極和各輔助電極內部引燃或回縮到各電極之間內部放電，從而避免燒壞各極間隔離的絕緣材料?？梢愿鶕枰奖愕母鼡Q不同口徑的陽極，而不需要更換整個炬。還可以調節(jié)陽極到陰極之間的垂直距離，以便優(yōu)化等離子體射流，獲得最佳的沉積效果。

　　主權利要求 1.一種用于化學氣相沉積的等離子炬，包括上部的陰極、位于陰極正下部的陽極、同心套裝在陰極外部的圓筒形輔助電極，其特征是：所述的輔助電極至少一個，陰極和輔助電極之間設有隔離密封環(huán)，相鄰的輔助電極之間設有隔離密封環(huán)，最外層輔助電極外部套裝有磁場線包，所述的陽極為環(huán)形的中空管，并連接有進出水導管。

　　2.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的陽極的橫截面為方形，或者為圓形。

　　3.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的輔助電極下部加寬。

　　4.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的隔離環(huán)密封環(huán)由耐熱的絕緣材料制成，其上開有進氣道，其中至少有一個是 切向進氣。

　　5.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的輔助電極由雙層金屬管焊接而成，內設水冷夾層。

　　6.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述的輔助電極不接電源的正極或負極。