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官方微信摘要 名稱多工位氣相合成金剛石膜裝置公開號2264191公開日1997.10.08主分類號C23C16/26
| 名稱 | 多工位氣相合成金剛石膜裝置 | ||
| 公開號 | 2264191 | 公開日 | 1997.10.08 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C30B25/00 |
| 申請?zhí)?/strong> | 96227452.6 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1996.03.22 | |
| 頒證日 | 1997.09.13 | 優(yōu)先權(quán) | |
| 申請人 | 曲承林 | 地址 | 266045山東省青島市商丘路2號5戶 |
| 發(fā)明人 | 曲承林 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 青島化工學(xué)院專利事務(wù)所 | 代理人 | 于正河; 吳澄 |
| 摘要 | 本實用新型屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)，涉及一種由六套單元系統(tǒng)構(gòu)成的多工位氣相合成金剛石膜裝置，各單元系統(tǒng)分別由充氣系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和反應(yīng)室等連接構(gòu)成，六單元系統(tǒng)并聯(lián)成結(jié)構(gòu)相同、工作相對獨立且便于控制的六工位整機裝置，氫氣和甲烷充氣系統(tǒng)并聯(lián)后接入反應(yīng)室，反應(yīng)室內(nèi)的燈絲安裝和更換采用專用工裝設(shè)備，制有輔助排氣管路便于故障檢修，具有結(jié)構(gòu)新穎，性能可靠，產(chǎn)量高，質(zhì)量好，便于維修等優(yōu)點，可用于厚金剛石膜置備。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號