名稱 | 碳化硅纖維生產中的尾氣回收方法及裝置 | ||
公開號 | 1146503 | 公開日 | 1997.04.02 |
主分類號 | C30B25/00 | 分類號 | C30B25/00;C30B29/36;C30B29/62;B01D53/34;B01D5/00 |
申請?zhí)?/strong> | 95115643.8 | ||
分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1995.09.29 | |
頒證日 | 優(yōu)先權 | ||
申請人 | 中國科學院山西煤炭化學研究所 | 地址 | 030001山西省太原市165信箱 |
發(fā)明人 | 張蓬洲; 任兆鑫; 宋麗萍; 溫月芳 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 中國科學院山西專利事務所 | 代理人 | 衛(wèi)凌秋; 魏樹巍 |
摘要 | 本發(fā)明提供一種碳化硅纖維生產尾氣的回收方法及裝置,是將尾氣通過-40~-80℃的冷凝裝置冷凝,分離CH#-[3]SiCl#-[3]、CH#-[3]SiHCl#-[2]及高沸點物質,然后將不能被冷凝的HCl、H#-[2]等物質送入含10%堿液的吸收塔,除去HCl,H#-[2]送入凈化器凈化,被冷凝分離出的硅烷,經過精密蒸餾除去高沸點物質后再使用。由本發(fā)明回收的CH#-[3]SiCl#-[3]和CH#-[3]SiHCl#-[2]占尾氣總量的95%,再利用率為65%。經本發(fā)明尾氣回收后的環(huán)境檢測達到國家標準。 |