手機資訊
官方微信摘要 名稱碳化硅纖維高頻熱反應裝置公開號1071398公開日1993.04.28主分類號C03B37/09
| 名稱 | 碳化硅纖維高頻熱反應裝置 | ||
| 公開號 | 1071398 | 公開日 | 1993.04.28 |
| 主分類號 | C03B37/09 | 分類號 | C03B37/09 |
| 申請?zhí)?/strong> | 91109267.6 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1991.10.05 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 石家莊市電子加工技術(shù)研究所 | 地址 | 050091河北省石家莊市紅旗大街81號 |
| 發(fā)明人 | 陳新謀; 王敬霞 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 河北省專利事務所 | 代理人 | 王苑祥 |
| 摘要 | 本發(fā)明涉及到一種利用氣相沉積法制造碳化硅纖維的專用裝置。本發(fā)明利用高頻無接觸式加熱系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的直流加熱系統(tǒng)，裝置中包括收、放絲機構(gòu)，可導入反應氣體的石英熱反應器和高頻加熱系統(tǒng)三部分組成。高頻加熱系統(tǒng)中由射頻發(fā)生器產(chǎn)生高能量射頻電波，通過同軸傳輸電纜直聯(lián)至同軸型反相激勵式對稱耦合腔，套裝在石英熱反應器上，在射頻電流激勵下，在耦合腔之間形成軸向勻強電磁場實現(xiàn)對載體絲加熱，并完成反應氣體分解并以ＳｉＣ形式沉積的過程。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號