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官方微信摘要 名稱一種復(fù)合激光化學(xué)氣相沉積金剛石膜的方法公開號1221806公開日1999.07.07主分類號C23C16/26&
| 名稱 | 一種復(fù)合激光化學(xué)氣相沉積金剛石膜的方法 | ||
| 公開號 | 1221806 | 公開日 | 1999.07.07 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26 |
| 申請?zhí)?/strong> | 97122035.2 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1995.09.11 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 中國科學(xué)院金屬研究所 | 地址 | 110015遼寧省沈陽市沈河區(qū)文化路72號 |
| 發(fā)明人 | 馮鐘潮; 趙巖; 張炳春 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 中國科學(xué)院沈陽專利事務(wù)所 | 代理人 | 張晨 |
| 摘要 | 一種復(fù)合激光化學(xué)氣相沉積金剛石膜的方法，最低沉積溫度為２５０℃，其特征在于選用波長在３０８nm的ＸeＣl準(zhǔn)分子激光作激光源，同時復(fù)合輻照紅外激光，波長范圍在１．０６μm～１０．６μm，過程如下：將欲沉積襯底放在高導(dǎo)熱率材料的工作臺上，用ＸeＣl準(zhǔn)分子激光和紅外激光輻照襯底欲沉積金剛石膜區(qū)，并在預(yù)抽真空的反應(yīng)室中通入能吸收該激光波長的碳?xì)浠衔锓磻?yīng)氣（含汽化液體或固體）和氫氣，碳?xì)浠衔锓磻?yīng)氣與氫氣的流量比為（１～３）∶１００，在適當(dāng)工藝條件下，在襯底表面沉積出金剛石膜，工藝條件是：ＸeＣl激光單脈沖能量２０～５０0j/pules；ＸeＣl激光脈寬１５～４０ms；脈沖頻率５～４０Ｈz。本發(fā)明所制膜層純度高，沉積溫度低，易于實(shí)現(xiàn)，安全可靠。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號