申請?zhí)枺?01710386263.4
       申請人：楊凌美暢新材料有限公司
       發(fā)明人：曲東升 王新平 曹民博

       摘要： 本發(fā)明提供了一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，包括如下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述步驟（4）切割：所述切割由切割機(jī)架帶動硅棒向電鍍金剛線網(wǎng)移動，同時(shí)主輥帶動電鍍金剛線網(wǎng)作往復(fù)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)切割，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度200?350顆/mm，切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為6?16N，電鍍金剛線的線速度為1200?1800m/min，工件切割速度為0.8?3.5mm/min，切割液溫度為18?23℃，切割過程中，電鍍金剛線采用逐漸遞進(jìn)法或先反向供給后正向供給的方式。采用本發(fā)明切割方法能夠在2h以內(nèi)完成對8.4inch、650?700mm晶體硅棒的順利切割。        主權(quán)利要求：1.一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，包括如下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述步驟（1）粘棒：將燕尾與樹脂板、樹脂板與硅棒用粘膠粘接；所述步驟（2）上料：將步驟（1）中粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機(jī)；所述步驟（3）配制切割液：將切割液、消泡劑、水按照質(zhì)量比為1∶1∶200～1∶0.5∶350混合均勻后，倒入切割液缸中；所述步驟（4）切割：所述切割由切割機(jī)架帶動硅棒向電鍍金剛線網(wǎng)移動，同時(shí)主輥帶動電鍍金剛線網(wǎng)作往復(fù)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)切割，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度200-350顆/mm，切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為6-16N，電鍍金剛線的線速度為1200-1800m/min，工件切割速度為0.8-3.5mm/min，切割液溫度為18-23℃，切割過程中，電鍍金剛線采用逐漸遞進(jìn)法或先反向供給后正向供給的方式。
       2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述切割速度分為三部分：進(jìn)刀切割速度為1.5-3.5mm/min，主切割速度為2-3.5mm/min，出刀切割速度為0.8-1.0mm/min。
       3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，開始切割前，調(diào)節(jié)冷卻液流量到10-30L/min，優(yōu)選為0-1L/min，上述流量對應(yīng)切割深度設(shè)定為1-10mm；當(dāng)切割達(dá)到設(shè)定位置時(shí)，將冷卻液流量調(diào)節(jié)到130-170L/min。
       4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述逐漸遞進(jìn)的切割方法為金剛線以往復(fù)切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，所述每個(gè)往復(fù)循環(huán)中，頭端向著末端行走的電鍍金剛線的數(shù)量大于末端向著頭端行走的電鍍金剛線的數(shù)量。
       5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述先反向進(jìn)給→后正向進(jìn)給的進(jìn)給方式為電鍍金剛線以往復(fù)切割方式從主輥的末端向著頭端先行走，當(dāng)電鍍金剛線切入工件位置一定距離后，金剛線又以往復(fù)切割方式從主輥的頭端向著末端行走，所述每個(gè)往復(fù)過程金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進(jìn)，所述反向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量小于等于正向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量。
       6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線直徑為50-80um，電鍍金剛線破斷張力為10-23.5N，電鍍金剛線上金剛石顆粒直徑為5-16um，金剛石顆粒出刃高度4-7um。
       7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒直徑為6-8um。
       8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線的線速度為1200-1500m/min。