申請(qǐng)?zhí)枺?01710124589.X
       申請(qǐng)人：深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
       發(fā)明人：唐永炳 張松全 王陶

       摘要： 本發(fā)明公開(kāi)了一種熱絲承載架以及金剛石薄膜沉積設(shè)備。本發(fā)明的熱絲承載架包括主架體以及安裝于主架體上的多根熱絲，并且所述主架體包括平行設(shè)置的兩固定架以及多個(gè)連接件；其中，多個(gè)所述連接件可拆卸地裝設(shè)于所述固定架上，并可于所述固定架上沿水平方向左右滑動(dòng)，所述主架體通過(guò)所述固定架上的連接件連接所述熱絲，并且調(diào)節(jié)所述連接件可相應(yīng)調(diào)節(jié)所述主架體上所安裝的熱絲的數(shù)量以及所安裝熱絲之間的間距。本發(fā)明的熱絲承載架及金剛石薄膜沉積設(shè)備，可解決傳統(tǒng)金剛石薄膜沉積設(shè)備中熱絲固定不可調(diào)，導(dǎo)致無(wú)法靈活調(diào)控溫度場(chǎng)而導(dǎo)致生成成本偏高、生產(chǎn)效率難以提高的問(wèn)題。        主權(quán)利要求：1.一種熱絲承載架，包括主架體以及安裝于主架體上的多根熱絲，其特征在于，所述主架體包括平行設(shè)置的兩個(gè)固定架以及多個(gè)連接件，多個(gè)所述連接件可拆卸地裝設(shè)于所述固定架上，并可沿著所述固定架的軸向延伸方向移動(dòng)，所述熱絲的相對(duì)兩端通過(guò)所述連接件連接至兩個(gè)所述固定架上，以通過(guò)調(diào)整所述固定架上所述連接件的數(shù)量相應(yīng)調(diào)整設(shè)置于所述主架體上安裝的熱絲的數(shù)量，并通過(guò)調(diào)節(jié)所述連接件的位置以相應(yīng)調(diào)節(jié)設(shè)置于所述主架體上所述熱絲之間的間距。
       2.如權(quán)利要求1所述的熱絲承載架，其特征在于，所述熱絲承載架通過(guò)拆卸或加裝所述固定架上的連接件，對(duì)應(yīng)減少或增加所述主架體上安裝的熱絲的數(shù)量；所述熱絲承載架還通過(guò)滑動(dòng)所述固定架上的連接件，對(duì)應(yīng)帶動(dòng)所述連接件上的熱絲移動(dòng)而調(diào)節(jié)與其他熱絲之間的間距。
       3.如權(quán)利要求1所述的熱絲承載架，其特征在于，每一所述固定架上分別開(kāi)設(shè)一沿所述固定架的軸向延伸方向設(shè)置的滑槽，所述連接件可拆卸地裝設(shè)于該滑槽中，并可在該滑槽中沿著所述固定架的軸向滑動(dòng)，以對(duì)應(yīng)調(diào)節(jié)固定在被滑動(dòng)連接件上的熱絲與其他熱絲之間的間距。
       4.如權(quán)利要求1所述的熱絲承載架，其特征在于，所述熱絲承載架還包括若干支撐電極，所述支撐電極垂直連接至所述主架體，用以支撐所述熱絲承載架以及為所述熱絲供電。
       5.如權(quán)利要求1所述的熱絲承載架，其特征在于，所述熱絲承載架還包括多個(gè)彈性件，每一所述彈性件連接至一所述熱絲與相鄰的連接件之間，使每一所述熱絲的至少一端通過(guò)所述彈性件連接至所述連接件上，以通過(guò)所述彈性件拉緊相連接的熱絲。
       6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的熱絲承載架，其特征在于，至少一個(gè)所述固定架上的所述連接件用于連接所述熱絲的一端長(zhǎng)度可調(diào)。
       7.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的熱絲承載架，其特征在于，所述主架體還包括連接框以及連接至所述連接框的至少一連接臂，所述連接框與其中一固定架連接并圍成一加工面，另一固定架與所述連接臂連接并圍成一張緊面，所述張緊面與所述加工面形成一夾角，固定于兩個(gè)所述固定架上的熱絲抵持所述連接框成折線設(shè)置，所述熱絲對(duì)應(yīng)分成平行所述張緊面的張緊段以及平行所述加工面的加工段。
       8.一種金剛石薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的熱絲承載架。
       9.如權(quán)利要求8所述的金剛石薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，所述金剛石薄膜沉積設(shè)備還包括樣品基臺(tái)，所述樣品基臺(tái)包括多個(gè)固定孔以及可拆卸裝設(shè)于所述固定孔中的夾具，所述夾具上設(shè)有夾持部，所述樣品基臺(tái)通過(guò)所述固定孔固定待加工的樣品，或者通過(guò)所述固定孔裝設(shè)所述夾具后，再通過(guò)所述夾具的夾持部固定待加工的樣品。
       10.如權(quán)利要求9所述的金剛石薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，所述樣品基臺(tái)與所述夾具均采用高導(dǎo)熱材料制成，所述夾持部為中空結(jié)構(gòu)，且所述夾持部的內(nèi)徑與所述固定孔的內(nèi)徑尺寸不同。