申請(qǐng)?zhí)枺?01710186959.2
　　申請(qǐng)人：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
　　發(fā)明人：陳明君 王廷章 劉赫男 程健 張杰 高萬(wàn)彬 方針 于波

　　摘要： 砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動(dòng)的超精密磨削裝置，屬于超精密加工技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是針對(duì)小尺寸復(fù)雜結(jié)構(gòu)件加工過(guò)程中容易產(chǎn)生工具砂輪和工件干涉及曲面曲率半徑過(guò)小造成加工困難的問(wèn)題。本發(fā)明的豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)固定件通過(guò)內(nèi)六角螺釘固定在豎直結(jié)構(gòu)件的橫梁上，直角轉(zhuǎn)臺(tái)連接件通過(guò)臺(tái)階定位銷(xiāo)定位并與豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)部件連接，精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)固定在直角轉(zhuǎn)臺(tái)連接件的下安裝面上，且所述直角轉(zhuǎn)臺(tái)連接件為兩個(gè)相互垂直的方板構(gòu)成的L型結(jié)構(gòu)，一維微位移平臺(tái)通過(guò)過(guò)渡連接件連接在精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)的下側(cè)，一維微位移平臺(tái)的下連接面通過(guò)過(guò)渡連接件與超精密定位平臺(tái)的上端面連接。本發(fā)明適用于作為超精密磨削裝置使用。 　　主權(quán)利要求：1.砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動(dòng)的超精密磨削裝置，其特征在于，它包括豎直結(jié)構(gòu)件(1)、豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)、直角轉(zhuǎn)臺(tái)連接件(3)、精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)(4)、線纜固定裝置(5)、工作液轉(zhuǎn)接裝置(6)、過(guò)渡連接件(7)、一維微位移平臺(tái)(8)、球頭金剛石砂輪(9)、砂輪主軸(10)、砂輪主軸夾持裝置(11)、超精密定位平臺(tái)防護(hù)裝置(12)、超精密定位平臺(tái)(13)和豎直軸防護(hù)裝置(14)；豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)的固定件通過(guò)內(nèi)六角螺釘固定在豎直結(jié)構(gòu)件(1)的橫梁上，直角轉(zhuǎn)臺(tái)連接件(3)通過(guò)臺(tái)階定位銷(xiāo)定位并與豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)的運(yùn)動(dòng)部件連接，精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)(4)固定在直角轉(zhuǎn)臺(tái)連接件(3)的下安裝面上，一維微位移平臺(tái)(8)通過(guò)過(guò)渡連接件(7)連接在精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)(4)的下側(cè)，一維微位移平臺(tái)(8)的下連接面通過(guò)螺栓與超精密定位平臺(tái)(13)的上端面連接；砂輪主軸夾持裝置(11)通過(guò)螺釘與超精密定位平臺(tái)(13)的下端面連接，砂輪主軸(10)安裝于砂輪主軸夾持裝置(11)的圓孔中，通過(guò)內(nèi)六角螺釘進(jìn)行固定，球頭金剛石砂輪(9)通過(guò)彈性?shī)A頭安裝在砂輪主軸(10)底端；豎直軸防護(hù)裝置(14)安裝在豎直結(jié)構(gòu)件(1)的橫梁上，豎直軸防護(hù)裝置(14)套設(shè)在豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)的外側(cè)，用于對(duì)豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)的防護(hù)；工作液轉(zhuǎn)接裝置(6)安裝在豎直軸防護(hù)裝置(14)的內(nèi)側(cè)，所述工作液轉(zhuǎn)接裝置(6)用于實(shí)現(xiàn)工作液噴嘴的添加和轉(zhuǎn)換；超精密定位平臺(tái)防護(hù)裝置(12)通過(guò)螺釘連接與超精密定位平臺(tái)(13)連接，且超精密定位平臺(tái)防護(hù)裝置(12)套設(shè)在超精密定位平臺(tái)(13)的外側(cè)；線纜固定裝置(5)用于固定砂輪主軸(10)的動(dòng)力線和控制線。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動(dòng)的超精密磨削裝置，其特征在于，豎直軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)的行程為100mm，定位精度為0.5μm，直線度為1μm/25mm。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動(dòng)的超精密磨削裝置，其特征在于，超精密定位平臺(tái)(13)的行程為12mm，定位精度為±0.1μm。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動(dòng)的超精密磨削裝置，其特征在于，豎直結(jié)構(gòu)件(1)包括兩個(gè)立柱和一個(gè)橫梁，所述兩個(gè)立柱通過(guò)內(nèi)六角螺釘固定在橫梁的下側(cè)。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動(dòng)的超精密磨削裝置，其特征在于，直角轉(zhuǎn)臺(tái)連接件(3)為兩個(gè)相互垂直的方板構(gòu)成的L型結(jié)構(gòu)，且所述L型結(jié)構(gòu)的兩側(cè)設(shè)有兩塊筋板。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動(dòng)的超精密磨削裝置，其特征在于，精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)(4)徑向跳動(dòng)精度和軸向跳動(dòng)精度均優(yōu)于1.5μm。