申請?zhí)枺?01710186959.2
　　申請人：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
　　發(fā)明人：陳明君 王廷章 劉赫男 程健 張杰 高萬彬 方針 于波

　　摘要： 砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動的超精密磨削裝置，屬于超精密加工技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是針對小尺寸復(fù)雜結(jié)構(gòu)件加工過程中容易產(chǎn)生工具砂輪和工件干涉及曲面曲率半徑過小造成加工困難的問題。本發(fā)明的豎直軸運動平臺固定件通過內(nèi)六角螺釘固定在豎直結(jié)構(gòu)件的橫梁上，直角轉(zhuǎn)臺連接件通過臺階定位銷定位并與豎直軸運動平臺的運動部件連接，精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺固定在直角轉(zhuǎn)臺連接件的下安裝面上，且所述直角轉(zhuǎn)臺連接件為兩個相互垂直的方板構(gòu)成的L型結(jié)構(gòu)，一維微位移平臺通過過渡連接件連接在精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺的下側(cè)，一維微位移平臺的下連接面通過過渡連接件與超精密定位平臺的上端面連接。本發(fā)明適用于作為超精密磨削裝置使用。 　　主權(quán)利要求：1.砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動的超精密磨削裝置，其特征在于，它包括豎直結(jié)構(gòu)件(1)、豎直軸運動平臺(2)、直角轉(zhuǎn)臺連接件(3)、精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(4)、線纜固定裝置(5)、工作液轉(zhuǎn)接裝置(6)、過渡連接件(7)、一維微位移平臺(8)、球頭金剛石砂輪(9)、砂輪主軸(10)、砂輪主軸夾持裝置(11)、超精密定位平臺防護裝置(12)、超精密定位平臺(13)和豎直軸防護裝置(14)；豎直軸運動平臺(2)的固定件通過內(nèi)六角螺釘固定在豎直結(jié)構(gòu)件(1)的橫梁上，直角轉(zhuǎn)臺連接件(3)通過臺階定位銷定位并與豎直軸運動平臺(2)的運動部件連接，精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(4)固定在直角轉(zhuǎn)臺連接件(3)的下安裝面上，一維微位移平臺(8)通過過渡連接件(7)連接在精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(4)的下側(cè)，一維微位移平臺(8)的下連接面通過螺栓與超精密定位平臺(13)的上端面連接；砂輪主軸夾持裝置(11)通過螺釘與超精密定位平臺(13)的下端面連接，砂輪主軸(10)安裝于砂輪主軸夾持裝置(11)的圓孔中，通過內(nèi)六角螺釘進行固定，球頭金剛石砂輪(9)通過彈性夾頭安裝在砂輪主軸(10)底端；豎直軸防護裝置(14)安裝在豎直結(jié)構(gòu)件(1)的橫梁上，豎直軸防護裝置(14)套設(shè)在豎直軸運動平臺(2)的外側(cè)，用于對豎直軸運動平臺(2)的防護；工作液轉(zhuǎn)接裝置(6)安裝在豎直軸防護裝置(14)的內(nèi)側(cè)，所述工作液轉(zhuǎn)接裝置(6)用于實現(xiàn)工作液噴嘴的添加和轉(zhuǎn)換；超精密定位平臺防護裝置(12)通過螺釘連接與超精密定位平臺(13)連接，且超精密定位平臺防護裝置(12)套設(shè)在超精密定位平臺(13)的外側(cè)；線纜固定裝置(5)用于固定砂輪主軸(10)的動力線和控制線。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動的超精密磨削裝置，其特征在于，豎直軸運動平臺(2)的行程為100mm，定位精度為0.5μm，直線度為1μm/25mm。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動的超精密磨削裝置，其特征在于，超精密定位平臺(13)的行程為12mm，定位精度為±0.1μm。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動的超精密磨削裝置，其特征在于，豎直結(jié)構(gòu)件(1)包括兩個立柱和一個橫梁，所述兩個立柱通過內(nèi)六角螺釘固定在橫梁的下側(cè)。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動的超精密磨削裝置，其特征在于，直角轉(zhuǎn)臺連接件(3)為兩個相互垂直的方板構(gòu)成的L型結(jié)構(gòu)，且所述L型結(jié)構(gòu)的兩側(cè)設(shè)有兩塊筋板。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉(zhuǎn)動的超精密磨削裝置，其特征在于，精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(4)徑向跳動精度和軸向跳動精度均優(yōu)于1.5μm。