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脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法和基板斷開方法

關(guān)鍵詞 脆性材料 , 傾斜裂紋 , 基板|2017-03-22 09:14:12|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 申請(qǐng)?zhí)枺?01610556619.X申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司發(fā)明人:巖坪佑磨曾山浩摘要:本發(fā)明提供脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法和基板斷開方法。在脆性材料基板中形成傾斜裂...
  申請(qǐng)?zhí)枺?01610556619.X
  申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司
  發(fā)明人:巖坪佑磨 曾山浩

  摘要: 本發(fā)明提供脆性材料基板傾斜裂紋的形成方法和基板斷開方法。在脆性材料基板中形成傾斜裂紋的方法包括:槽線形成工序,使具有包含棱線的刀尖的劃線工具在脆性材料基板的一個(gè)主面上滑動(dòng)或者滾動(dòng)而形成槽線,其中,槽線是線狀的槽部;以及裂紋形成工序,在槽線的正下方產(chǎn)生裂紋,在槽線形成工序中,在使金剛石刻刀于水平面內(nèi)從槽線的形成前進(jìn)方向按規(guī)定的傾斜角傾斜的狀態(tài)下,以于槽線的正下方維持無(wú)裂紋狀態(tài)的方式形成槽線,在上述裂紋形成工序中,使作為相對(duì)于脆性材料基板的主面傾斜的裂紋的傾斜裂紋從槽線擴(kuò)展。
  主權(quán)利要求:1.一種脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,用于在脆性材料基板中形成傾斜裂紋,其特征在于,包括:槽線形成工序,通過(guò)使具有包含棱線的刀尖的劃線工具沿著所述脆性材料基板的一個(gè)主面的預(yù)定的斷開位置滑動(dòng)或者滾動(dòng),從而形成槽線,所述槽線是線狀的槽部;以及裂紋形成工序,使所述槽線的正下方產(chǎn)生裂紋,所述槽線形成工序中,在使所述劃線工具的所述棱線于水平面內(nèi)從規(guī)定方向按規(guī)定的傾斜角傾斜的狀態(tài)下,以于所述槽線的正下方維持無(wú)裂紋狀態(tài)的方式形成所述槽線,所述裂紋形成工序中,使傾斜裂紋從所述槽線擴(kuò)展,所述傾斜裂紋是相對(duì)于所述脆性材料基板的主面傾斜的裂紋。
  2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,其特征在于,所述傾斜角的絕對(duì)值是1.0°~3.0°。
  3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,其特征在于,所述規(guī)定方向是所述槽線的形成前進(jìn)方向。
  4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,其特征在于,所述斷開位置被定為曲線狀,所述規(guī)定方向是所述斷開位置的切線方向。
  5.一種脆性材料基板斷開方法,用于斷開脆性材料基板,其特征在于,包括:傾斜裂紋形成工序,通過(guò)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的脆性材料基板中傾斜裂紋的形成方法,在所述脆性材料基板中形成傾斜裂紋;以及斷開工序,沿所述傾斜裂紋斷開所述脆性材料基板。
 

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