根據(jù)天眼查APP數(shù)據(jù)顯示晶盛機電(300316)新獲得一項發(fā)明專利授權(quán),專利名為“金剛石長晶裝置”,專利申請?zhí)枮镃N202510130622.4,授權(quán)日為2025年4月8日。
專利摘要:本發(fā)明提供了一種金剛石長晶裝置,屬于金剛石生長技術(shù)領(lǐng)域,解決了現(xiàn)有技術(shù)金剛石生長質(zhì)量欠佳的問題。本發(fā)明包括第一腔體,第一腔體下方設(shè)有生長區(qū),所述生長區(qū)用于生長金剛石;天線,所述天線設(shè)置于第一腔體內(nèi)且位于生長區(qū)上方,天線用于激發(fā)反應(yīng)氣體形成等離子體;以及調(diào)節(jié)組件,所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)環(huán)和驅(qū)動件,所述調(diào)節(jié)環(huán)活動設(shè)置于天線上方,調(diào)節(jié)環(huán)用于約束等離子體的形態(tài),所述驅(qū)動件作用于調(diào)節(jié)環(huán),以使調(diào)節(jié)環(huán)至少具有水平方向的活動自由度。本申請通過額外配置調(diào)節(jié)組件,利用調(diào)節(jié)環(huán)約束等離子體的形態(tài),然后通過驅(qū)動件調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)環(huán)的水平位置,從而間接調(diào)節(jié)等離子體的水平位置,如此實現(xiàn)等離子體的位置糾偏,進而提高金剛石的長晶質(zhì)量。
今年以來晶盛機電新獲得專利授權(quán)43個,較去年同期減少了18.87%。結(jié)合公司2024年中報財務(wù)數(shù)據(jù),2024上半年公司在研發(fā)方面投入了6.11億元,同比增1.92%。