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用于沉積大面積金剛石膜的燈絲排布固定裝置

關(guān)鍵詞 金剛石膜 , 燈絲排布 , 固定裝置 |2010-12-22 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱用于沉積大面積金剛石膜的燈絲排布固定裝置公開號2325390公開日1999.06.23主分類號C04B41/00

 

名稱 用于沉積大面積金剛石膜的燈絲排布固定裝置 
公開號 2325390  公開日 1999.06.23   
主分類號 C04B41/00  分類號 C04B41/00 
申請?zhí)?/strong> 98214049.5 
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 1998.05.15   
頒證日 1999.05.26    優(yōu)先權(quán)  
申請人 吉林大學(xué)    地址 130023吉林省長春市解放大路123號  
發(fā)明人 呂憲義; 金曾孫; 姜志剛; 鄒廣田    國際申請  
國際公布   進(jìn)入國家日期  
專利代理機(jī)構(gòu) 吉林大學(xué)專利事務(wù)所    代理人 王恩遠(yuǎn); 崔麗娟   
摘要   本實(shí)用新型屬沉積大面積金剛石膜用的燈絲排布固定裝置。由支腿(3)和橫在兩支腿上的燈絲固定器(2)構(gòu)成支架,支架內(nèi)是空心連通的,直熱燈絲(1)排布成柵狀,繞過燈絲固定器(2)下底面聯(lián)接彈簧(9)再掛在燈絲掛板(4)上。鎢桿調(diào)節(jié)塊(6)和調(diào)節(jié)螺釘(7)可使鎢桿(8)在鎢桿調(diào)節(jié)塊的長孔內(nèi)前后移動,本實(shí)用新型具有燈絲平整熱場均勻、電接觸良好、銅制的支架不粘附沉積物等特點(diǎn),結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、工作穩(wěn)定、特別適合長時間使用制備大面積金剛石膜。
 

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