名稱 | 在刀具上沉積細(xì)粒氧化鋁涂層的方法 | ||
公開號 | 1280632 | 公開日 | 2001.01.17 |
主分類號 | C23C16/40 | 分類號 | C23C16/40 |
申請?zhí)?/strong> | 98811569.7 | ||
分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1998.11.26 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | 1997.11.26 SE 9704387-1 | |
申請人 | 桑德維克公司 | 地址 | 瑞典桑德維肯 |
發(fā)明人 | 克里斯蒂娜·特施納;因戈爾夫·恩德勒;阿爾布雷克特· | 國際申請 | |
國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
專利代理機(jī)構(gòu) | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 甘玲 |
摘要 | 本發(fā)明涉及一種在由燒結(jié)硬質(zhì)合金、金屬陶瓷、陶瓷或高速鋼構(gòu)成的刀具上沉積耐火氧化鋁(Al#-[2]O#-[3])薄涂層的方法。本發(fā)明的方法是等離子體化學(xué)氣相沉積(PACVD)法,其中等離子體由加在兩個電極上的雙極脈沖直流電壓產(chǎn)生的,并在將待涂覆的基材固定在電極上且為電連接。與現(xiàn)有方法相比,該方法抑制了絕緣表面上電荷的積累,因此在所述表面上不產(chǎn)生電弧,從而使反應(yīng)平穩(wěn)、長期進(jìn)行。在本發(fā)明方法中,由單相Y-Al#-[2]O#-[3]或γ-和α-Al#-[2]O#-[3]相混合物組成的涂層可在低至500℃的沉積溫度下沉積在刀具上。當(dāng)將本發(fā)明的涂覆有燒結(jié)硬質(zhì)合金刀具用于加工鋼或鑄鐵時,與現(xiàn)有技術(shù)制成的涂覆Al#-[2]O#-[3]刀具相比,可以觀察到一些重要改進(jìn)。 |