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在刀具上沉積細(xì)粒氧化鋁涂層的方法

關(guān)鍵詞 氧化鋁 , 刀具|2010-12-22 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱在刀具上沉積細(xì)粒氧化鋁涂層的方法公開號1280632公開日2001.01.17主分類號C23C16/40&nbs

 

名稱 刀具上沉積細(xì)粒氧化鋁涂層的方法 
公開號 1280632  公開日 2001.01.17   
主分類號 C23C16/40  分類號 C23C16/40 
申請?zhí)?/strong> 98811569.7   
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 1998.11.26   
頒證日   優(yōu)先權(quán) 1997.11.26 SE 9704387-1 
申請人 桑德維克公司    地址 瑞典桑德維肯  
發(fā)明人 克里斯蒂娜·特施納;因戈爾夫·恩德勒;阿爾布雷克特·  國際申請  
國際公布   進(jìn)入國家日期  
專利代理機(jī)構(gòu) 永新專利商標(biāo)代理有限公司    代理人 甘玲   
摘要   本發(fā)明涉及一種在由燒結(jié)硬質(zhì)合金、金屬陶瓷、陶瓷或高速鋼構(gòu)成的刀具上沉積耐火氧化鋁(Al#-[2]O#-[3])薄涂層的方法。本發(fā)明的方法是等離子體化學(xué)氣相沉積(PACVD)法,其中等離子體由加在兩個電極上的雙極脈沖直流電壓產(chǎn)生的,并在將待涂覆的基材固定在電極上且為電連接。與現(xiàn)有方法相比,該方法抑制了絕緣表面上電荷的積累,因此在所述表面上不產(chǎn)生電弧,從而使反應(yīng)平穩(wěn)、長期進(jìn)行。在本發(fā)明方法中,由單相Y-Al#-[2]O#-[3]或γ-和α-Al#-[2]O#-[3]相混合物組成的涂層可在低至500℃的沉積溫度下沉積在刀具上。當(dāng)將本發(fā)明的涂覆有燒結(jié)硬質(zhì)合金刀具用于加工鋼或鑄鐵時,與現(xiàn)有技術(shù)制成的涂覆Al#-[2]O#-[3]刀具相比,可以觀察到一些重要改進(jìn)。      
 

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