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研究實(shí)現(xiàn)異質(zhì)外延單晶金剛石襯底的制備

研究實(shí)現(xiàn)異質(zhì)外延單晶金剛石襯底的制備

近日，西安交大王宏興教授團(tuán)隊(duì)采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）技術(shù)，首次在Ir（111）/藍(lán)寶石表面實(shí)現(xiàn)...

日期 2024-11-26   

西安交大成功實(shí)現(xiàn)2英寸異質(zhì)外延單晶金剛石襯底量產(chǎn)

西安交大成功實(shí)現(xiàn)2英寸異質(zhì)外延單晶金剛石襯底量產(chǎn)
西安交大成功實(shí)現(xiàn)2英寸異質(zhì)外延單晶金剛石襯底量產(chǎn)
西安交大成功實(shí)現(xiàn)2英寸異質(zhì)外延單晶金剛石襯底量產(chǎn)

近日，由西安交通大學(xué)王宏興教授領(lǐng)銜的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)在單晶金剛石襯底技術(shù)產(chǎn)業(yè)化上取得了重大進(jìn)展和突破。該團(tuán)隊(duì)采用一種基于微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）技術(shù)實(shí)現(xiàn)了2英寸異...

日期 2024-01-09   

異質(zhì)外延單晶金剛石及其相關(guān)電子器件的研究進(jìn)展

異質(zhì)外延單晶金剛石及其相關(guān)電子器件的研究進(jìn)展
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異質(zhì)外延單晶金剛石及其相關(guān)電子器件的研究進(jìn)展

1異質(zhì)外延單晶金剛石微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）是高質(zhì)量單晶金剛石制備的主流方法。根據(jù)襯底選擇可將其分為同質(zhì)外延和異質(zhì)外延兩種。同質(zhì)外延以單晶金剛石為襯底，通...

日期 2023-09-05   
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