我國(guó)半導(dǎo)體材料精密磨粒加工有了“金剛鉆”。近日，記者從河南省柘城縣獲悉，河南力量鉆石股份有限公司參與完成的“半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。該企業(yè)成為河南省商丘市近十年來(lái)唯一獲此殊榮的企業(yè)。

　　半導(dǎo)體器件制造技術(shù)是信息、新能源、智能制造等國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的關(guān)鍵。由于半導(dǎo)體器件制造過(guò)程復(fù)雜、要求嚴(yán)苛，采用金剛石磨粒工具對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行多種形式加工是必不可少的環(huán)節(jié)。

　　據(jù)統(tǒng)計(jì)，我國(guó)磨具消耗量全球第一，但半導(dǎo)體用系列精密磨具長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。

　　“工具設(shè)計(jì)缺依據(jù)、工具制造遇瓶頸、加工工藝難掌控、加工裝備自主率低等突出問(wèn)題是制約我國(guó)高性能半導(dǎo)體器件自主創(chuàng)新的主要因素。”鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司執(zhí)行董事、高性能工具全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任趙延軍說(shuō)。這次獲獎(jiǎng)的項(xiàng)目針對(duì)以上瓶頸，攻克了半導(dǎo)體材料精密磨粒加工系列技術(shù)難題，為我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域高質(zhì)高效加工解決了關(guān)鍵材料的迫切需求。

　　河南力量鉆石股份有限公司項(xiàng)目部主任陳亞男介紹，作為參與“半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項(xiàng)目研發(fā)的骨干企業(yè)，本次獲獎(jiǎng)是繼2023年榮獲河南省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)之后，河南力量鉆石股份有限公司在高端超硬材料科技創(chuàng)新方面的又一次突破，解決了高品質(zhì)微細(xì)磨粒批量化生產(chǎn)難題，有力保障了我國(guó)高性能半導(dǎo)體器件自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)鏈安全。

　　河南省力量鉆石股份有限公司是全國(guó)超硬材料行業(yè)龍頭企業(yè)之一，擁有“河南省功能性金剛石及制品工程技術(shù)研究中心”“高品級(jí)金剛石大單晶合成河南省工程實(shí)驗(yàn)室”“河南省超硬材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心”“河南省培育鉆石產(chǎn)業(yè)研究院”等科技創(chuàng)新平臺(tái)，目前公司擁有自主研發(fā)科技成果20項(xiàng)，全部實(shí)現(xiàn)自主轉(zhuǎn)化。

　　“下一步，我們將在半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工領(lǐng)域不斷精進(jìn)，立足自主研發(fā)、掌握核心技術(shù)，在高端超硬材料科技創(chuàng)新方面不斷實(shí)現(xiàn)新突破?！编嵵菽チ夏ゾ吣ハ餮芯克邢薰w延軍表示。