carborntech2019
第四屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)
2019年11月26-29日·上??鐕?guó)采購會(huì)展中心
規(guī)模
160+展商|5000+行業(yè)代表|30000+觀眾
Iplas Innovative Plasma Systems GmbH
與您相約Carbontech 2019
展位號(hào):D030
iplas是德國(guó)一家專注于基于獨(dú)特的CYRANNUS?等離子源的高產(chǎn)率金剛石CVD設(shè)備的公司和團(tuán)隊(duì)。于1997年由-Ing. Hildegard Sung-Spitzl博士和Dr. Ralf Spitzl. 博士創(chuàng)立。公司的長(zhǎng)期戰(zhàn)略是高度關(guān)注客戶應(yīng)用的生產(chǎn)率。此類最高技術(shù)解決方案的基礎(chǔ)是開放和可信賴的合作關(guān)系,這些客戶始終受到最大程度的機(jī)密性保護(hù)。公司致力于為企業(yè)的CVD金剛石從研究到工廠投產(chǎn)的各個(gè)方面提供幫助。
產(chǎn)品系列
1. CYRANNUS?CVD系統(tǒng)
(1)用于鉆石和其他產(chǎn)品的微波激發(fā)等離子體CVD系統(tǒng)
(2)從小單位到全工廠的生產(chǎn)系統(tǒng)
(3)針對(duì)高端應(yīng)用和創(chuàng)新的定制研發(fā)系統(tǒng)
2. 服務(wù)
(1)工廠交付
(2)流程指導(dǎo)
(3)生產(chǎn)培訓(xùn)中心
(4)實(shí)驗(yàn)室租賃
3. 材料
(1)樣品生產(chǎn)
(2)種子材料
性能
1. 反應(yīng)器類型
(1)頻率:915MHz;功率:5-100kW(根據(jù)不同應(yīng)用);適用于大規(guī)模和氣體化學(xué)反應(yīng),典型沉積范圍:?150-300mm
(2)2.45GHz,功率:可根據(jù)要求和應(yīng)用提供6kW或更高的功率,典型沉積范圍:?50-100mm
(4)其他:5.8GHz或9.4GHz
2. 特點(diǎn):
(1)最佳場(chǎng)密度與沉積面積(效率)的關(guān)系
(2)基板的原位z操縱
(3)原位偏置
3. 操作模式
(1)具有工廠控制的自動(dòng)化系統(tǒng)
(2)用于小規(guī)模生產(chǎn)和研發(fā)的半自動(dòng)化系統(tǒng)
金剛石
所有CYRANNUS?系統(tǒng)的所有類型……
(1)單晶生長(zhǎng)(同質(zhì)外延,異質(zhì)外延,電子級(jí)等)
(2)微晶膜(從微米級(jí)到納米級(jí);高度取向)
(3)納米/超納米晶金剛石膜
(4)石墨烯,碳納米壁等
其他應(yīng)用
iplas等離子工藝涵蓋了獨(dú)特的不同應(yīng)用范圍,以下僅為CYRANNUS?技術(shù)在金剛石方面的能力:
(1)大小可控制的大量納米粒子
(2)等離子風(fēng)洞,用于太空船再入模擬
(3)各種化合物的等離子化學(xué)
(4)用于生物相容性或蝕刻的超快飽和表面處理
方法
iplas在德國(guó)擁有超過20年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn),擁有全面的流程和應(yīng)用知識(shí)。我們的解決方案不只是一組技術(shù)特性,它們是針對(duì)具體實(shí)際需求的特定解決方案。
(1)專注于業(yè)務(wù)和技術(shù)→優(yōu)化商業(yè)解決方案
(2)完全同步的技術(shù),同時(shí)執(zhí)行
-CVD工藝知識(shí)→提高產(chǎn)量
-最高的自動(dòng)化水平→可靠性和控制性
-德國(guó)工程→值得信賴的堅(jiān)固性和耐用性
iplas常務(wù)董事Dr.-Ing. Hildegard Sung-Spitzl將出席Carbontech 2019——5G時(shí)代金剛石的創(chuàng)新應(yīng)用論壇,并做相關(guān)報(bào)告。
Dr.-Ing. Hildegard Sung-Spitzl
Dr.Sung-Spitzl, 德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué)的物理和機(jī)械工程師。曾在頂級(jí)管理咨詢公司工作,幾年之后,在德國(guó)成立了iplas GmbH公司,專注于高度集成的等離子技術(shù)。
報(bào)告題目及摘要
題目
Integrated CVD technology projects combine faster business performance and higher yield
摘要
The talk gives an introduction how to start a commercial CVD production at very high speed. Concepts of industry 4.0 are valued as technology solutions for the next decade regarding reliability, sustainability and stable growth. Basing on long internal research and strategic development, today iplas provides integrated business solutions with the shortest time to market for all customers. The innovative approach enables a highly competitive market position even without long term in-house CVD experience.
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