2023年12月22日,工業(yè)和信息化部發(fā)布了《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2024年版)》,切削刀具用超硬材料制品、超精密加工用超硬材料制品、超細(xì)金剛石線鋸等3種超硬材料被列入重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄,該目錄自2024年1月1日起實(shí)施。
文字如下:
先進(jìn)無機(jī)非金屬材料——超硬材料
157、切削刀具用超硬材料制品
(1)聚晶金剛石復(fù)合片PCD:硬度≥HV4000,拱形度≤0.1 mm,厚度公差≤±0.1 mm;
(2)聚晶PCBN刀片:硬度≥3200 HV,抗沖擊韌性≥25 J,抗彎強(qiáng)度≥500 MPa。
158、超精密加工用超硬材料制品
(1)減薄砂輪:硬度偏差≤8%;動(dòng)平衡精度≤0.2 g;晶圓加工精度:TTV≤3 μm;
(2)倒邊輪:多槽到基準(zhǔn)面距離公差均≤0.05 mm,槽開口夾角≤1°;槽底圓弧≤0.02 mm;工件崩口≤30 μm
(3)研磨液/拋光液:拋光效率≥0.8 μm/h;表面粗糙度≤0.2 nm;
(4)陶瓷吸盤/載盤:平行度≤50 μm,平面度≤50 μm;
(5)半導(dǎo)體封裝用超薄切割砂輪:外徑 D(25~125)±0.05 mm、厚度 T(0.048~2.0)±0.008 mm、內(nèi)孔(6~40 mm)H7,平面度≤0.07 mm、同軸度≤0.01 mm、平行度≤0.01 mm。
(6)超精密加工用超硬材料制品:實(shí)現(xiàn)(70/80~20/30)目粒度范圍的金剛石,按照在金屬胎體材料中空間點(diǎn)陣預(yù)定位設(shè)計(jì),精準(zhǔn)布入率達(dá)95%以上;金剛石濃度達(dá)到60%;制備的金剛石刀頭(工作齒)焊接抗彎強(qiáng)度≥700MPa,胎體洛氏硬度達(dá)到HRB90及以上。
159、超細(xì)金剛石線鋸
(1)碳鋼絲線鋸:碳鋼絲線鋸直徑小于48微米,斷線率≤8%,外徑誤差≤5 μm,抗拉強(qiáng)度≥5200 MPa,自由圈經(jīng)≥50 mm;
(2)鎢絲線鋸:鎢絲線鋸直徑小于45微米,斷線率≤8%,抗拉強(qiáng)度≥6000 Mpa,外徑誤差≤5 μm,自由圈經(jīng)≥50 mm。