利用“納米壓印光刻技術(shù)”,可以使得半導(dǎo)體鍺的納米結(jié)構(gòu)薄層極大地提高其在可見光到近紅外波長范圍的光吸收量。寬帶吸收來自于布魯斯特和材料中光子晶體模式之間的強相互作用,并且這一效應(yīng)可以極大的促進光伏和通信等光電工程的發(fā)展。
如圖所示:左圖為光子結(jié)構(gòu)的SEM顯微照片。插圖表示的是在金屬襯底上,Ge光子結(jié)構(gòu)體系的方案。右圖為Ge元素表面(黑色曲線)和沒有抗反射涂層(紅色曲線)的吸收相比,在金基底上對鍺的吸收為70nm。 圖片來源:A Mihi
設(shè)計可吸收范圍波長的光的超薄半導(dǎo)體材料,對于改進光電子器件,使之能夠更有效地將光轉(zhuǎn)換為活性電子是至關(guān)重要的。實現(xiàn)這一目標(biāo)的一種方法是增加半導(dǎo)體層的厚度,以便它能在整個光譜中捕捉到最大的光子數(shù)。
西班牙巴塞羅那材料研究所的研究人員采取了一種不同的方法,即采用不同的光陷阱策略,這樣就能夠在減少半導(dǎo)體量的同時,仍能夠強烈得吸收光線。在他們研究的光子元結(jié)構(gòu)中,入射光與不同類型的光共振模式相耦合:布魯斯特和混合光子 - 等離子體共振模式。正是這些共振負(fù)責(zé)將光場集中在小體積內(nèi),并使材料吸收可見光到近紅外范圍(400-1500nm)。
鍺與光相互作用
科研小組組長Agustin Mihi解釋說:布魯斯特模式是一種光子模式,其中沒有從表面反射出來的光。由于半導(dǎo)體的高折射率以及貴金屬在可見光部分的非理想行為,在我們的研究中使用的一層薄的半導(dǎo)體在貴金屬基底上以維持這種類型的模式光譜。在這種模式下,光在由其厚度決定的波長處被強烈地限制在薄膜中。
“由于我們的樣品中鍺(Ge)薄膜的納米結(jié)構(gòu),光可以與兩種有效的鍺厚度產(chǎn)生相互作用:一種是布魯斯特模式,而另一種是等離子體 - 光子模式。
如圖所示:研究小組人員由左至右分別為:Miquel Garriga,Juan LuisGarcía-Pomar,Pau Molet,Isabel Alonso,AgustínMihi和Cristiano Matricardi。 圖片來源:ICMAB
研究人員構(gòu)建的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括一個使用軟光刻技術(shù)構(gòu)建在金膜上的圓柱形孔的二維方形陣列,這種可擴展的技術(shù)具有與大規(guī)模生產(chǎn)工藝(如軋輥)相適應(yīng)的優(yōu)點。
超曲面的光子共振現(xiàn)象
Mihi說:“通過單獨的光子共振來實現(xiàn)寬帶光吸收是非常具有挑戰(zhàn)性的,因為每個共振放大的光吸收僅在特定的波長范圍內(nèi)起作用。在我們的實驗中,我們制造了一個從近紅外到可見光都呈現(xiàn)出一系列光子共振的變換表面,增加了Ge層在其電子帶隙之上的所有能量的光吸收。
實際上,寬帶吸收來自于Ge層整個吸收光譜中不同共振的同時激發(fā)。Mihi說, “在可見光下,我們的光子結(jié)構(gòu)維持了一個廣泛的法布里 - 珀羅(Fabry Perot)共振,如上所述,通過與布魯斯特模式耦合,這種共振得到了增強。在近紅外中,有多個吸收峰來自于在金屬基底上制備的光子晶體中激發(fā)的等離子體 - 光子模式。
光伏與通信領(lǐng)域的應(yīng)用
他補充說:“光子晶體提供了在超薄Ge薄膜平面方向上耦合光的方法,使其能夠限制長波長(高達(dá)1400nm)的光子。我們還精心設(shè)計了這個表面,將這種光耦合到慢光模式,這種模式結(jié)合了光子晶體和等離子體效應(yīng),產(chǎn)生強烈的吸收峰。
如此強大的寬帶吸收對于制造更高效的光伏器件可能是有用的,特別是近紅外吸收(在重要的電信窗口達(dá)到100%)可以使諸如光電探測器的應(yīng)用受益。
該科研團隊已將這一科研成果發(fā)表在了《Advanced Materials 》雜志上,他們現(xiàn)在正忙于使用其納米結(jié)構(gòu)的Ge來設(shè)計不同的光電器件?!捌渲邪ǖ谌柲茈姵兀ɑ阝}鈦礦材料)。他們希望可以有效的提高效率,使這一新技術(shù)與現(xiàn)有的硅技術(shù)競爭?!?/p>