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摘要 美國圣弗朗西斯科訊戴比爾集團(tuán)人造金剛石分公司-元素六，于2013年美國西部光電展上宣布該公司加利福尼亞工廠將增加50%人造金剛石晶片產(chǎn)量。元素六公司增加的產(chǎn)量將滿足日益增長的光學(xué)窗...
美國圣弗朗西斯科訊 戴比爾集團(tuán)人造金剛石分公司-元素六，于2013年美國西部光電展上宣布該公司加利福尼亞工廠將增加50%人造金剛石晶片產(chǎn)量。元素六公司增加的產(chǎn)量將滿足日益增長的光學(xué)窗產(chǎn)品需求，該產(chǎn)品是一種激光等離子極端紫外線(英文簡寫為：EUV)光刻系統(tǒng)部件。人造金剛石光學(xué)窗是一款易替代傳統(tǒng)光學(xué)材料產(chǎn)品，實現(xiàn)低缺陷率并確保無以倫比系統(tǒng)性能，技術(shù)負(fù)責(zé)人阿德里安·威爾遜。
化學(xué)氣相沉積技術(shù)利用特性制造合成窗，適合高能量二氧化碳激光和高穿透的EUV加工技術(shù)，因此實現(xiàn)光刻系統(tǒng)最佳成本率和生存率。(翻譯：王晗)
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