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官方微信摘要 名稱陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法公開號1289861公開日2001.04.04主分類號C23C16/2
| 名稱 | 陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法 | ||
| 公開號 | 1289861 | 公開日 | 2001.04.04 |
| 主分類號 | C23C16/27 | 分類號 | C23C16/27 |
| 申請?zhí)?/strong> | 99119465.9 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1999.09.29 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 永源科技股份有限公司 | 地址 | 臺灣省臺中市 |
| 發(fā)明人 | 汪大永 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 袁炳澤;余朦 |
| 摘要 | 本發(fā)明采用陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法，是利用CAE金屬離子的高離子能量激發(fā)真空室中烴類氣體的裂解反應(yīng)而淀積高硬度、高潤滑性的類金剛石碳膜，該碳膜由于內(nèi)含金屬成分而具有良好的韌性，另外淀積類金剛石碳膜之前可借助于同一金屬弧源以CAE制備工藝先淀積一層或多層的金屬、金屬氮化物或金屬碳化物中介層以強(qiáng)化類金剛石碳膜的附著性，再通過烴類氣體與金屬弧源等離子體產(chǎn)生烴類氣體的裂解反應(yīng)而淀積類金剛石碳膜 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號