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官方微信摘要 名稱(chēng)一種熱絲法生長(zhǎng)金剛石的方法公開(kāi)號(hào)1123847公開(kāi)日1996.06.05主分類(lèi)號(hào)C23C16/26
| 名稱(chēng) | 一種熱絲法生長(zhǎng)金剛石的方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1123847 | 公開(kāi)日 | 1996.06.05 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C23C16/26 | 分類(lèi)號(hào) | C23C16/26;C30B25/00 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 94118524.9 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1994.11.29 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 中國(guó)科學(xué)院物理研究所 | 地址 | 100080北京市603信箱 |
| 發(fā)明人 | 陳巖; 林彰達(dá) | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 中國(guó)科學(xué)院專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | 高存秀 |
| 摘要 | 本發(fā)明屬于化學(xué)汽相沉積技術(shù)，特別是涉及采用熱絲法汽相沉積大面積金剛石膜的方法。本發(fā)明為了有效地利用真空室，節(jié)省電耗及氣體有效的生長(zhǎng)大面積金剛石膜，從而提供一種由一根或多根Ｗ鎢絲豎直懸掛在反應(yīng)室頂，待沉積基材相對(duì)于Ｗ絲豎直懸掛在Ｗ鎢絲周?chē)呐帕蟹绞剑ㄈ敕磻?yīng)介質(zhì)，汽相沉積生長(zhǎng)金剛石膜的方法。該方法可把沉積效率提高１—４倍減少電耗和反應(yīng)介質(zhì)，降低反應(yīng)成本。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)