氣相合成金剛石的方法
關(guān)鍵詞 氣相合成 , 金剛石|2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱氣相合成金剛石的方法公開號(hào)1113965公開日1995.12.27主分類號(hào)C23C16/26
名稱 |
氣相合成金剛石的方法 |
公開號(hào) |
1113965 |
公開日 |
1995.12.27 |
主分類號(hào) |
C23C16/26 |
分類號(hào) |
C23C16/26 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong> |
94110656.X |
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> |
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申請(qǐng)日 |
1994.06.06 |
頒證日 |
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優(yōu)先權(quán) |
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申請(qǐng)人 |
山東礦業(yè)學(xué)院 |
地址 |
271019山東省泰安市岱宗大街48號(hào) |
發(fā)明人 |
李惠琪; 李惠東; 霍萬庫(kù); 吳玉萍; 張桂玲 |
國(guó)際申請(qǐng) |
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國(guó)際公布 |
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進(jìn)入國(guó)家日期 |
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專利代理機(jī)構(gòu) |
山東省高等院校專利事務(wù)所 |
代理人 |
戚愛華 |
摘要 |
本發(fā)明是一種在直流等離子體噴射CVD設(shè)備中利用專利號(hào)為93109966.8的大噴口直徑等離子炬以廉價(jià)的液化石油氣作為碳源氣相合成金剛石的方法。使用本發(fā)明在氬、氫等離子弧中直接吹入液化石油氣,可以以每小時(shí)30—50微米的速度,生長(zhǎng)出質(zhì)量純凈的金剛石膜。 |
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