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官方微信摘要 名稱制備類金剛石復(fù)合振膜的方法公開號1093213公開日1994.10.05主分類號H04R31/00
| 名稱 | 制備類金剛石復(fù)合振膜的方法 | ||
| 公開號 | 1093213 | 公開日 | 1994.10.05 |
| 主分類號 | H04R31/00 | 分類號 | H04R31/00;C23C14/22 |
| 申請?zhí)?/strong> | 93103925.8 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1993.04.01 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 中國建筑材料科學(xué)研究院 | 地址 | 100024北京市朝陽區(qū)管莊 |
| 發(fā)明人 | 張保軍; 孫濱如 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 中國科學(xué)院專利事務(wù)所 | 代理人 | 劉文意 |
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種制備沉積有類金剛石膜層的復(fù)合聲學(xué)振膜的方法。其特征在于將被沉積金屬基體置于環(huán)形夾具中，并在真空室中作為負放電電極。運用含碳氣體的直流輝光放電法進行類金剛石膜的沉積，它可在平板形，球冠形或其它復(fù)雜形狀的多種基體材料表面進行單面或兩面同時沉積出類金剛石膜形成復(fù)合振膜。因此，它可以平衡應(yīng)力，提高復(fù)合膜的整體剛性，消除應(yīng)力變形，提高沉積效率，改善了聲器件的頻響曲線。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號