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官方微信摘要 名稱汽相淀積金剛石的方法及裝置公開號1060316公開日1992.04.15主分類號C23C16/26
| 名稱 | 汽相淀積金剛石的方法及裝置 | ||
| 公開號 | 1060316 | 公開日 | 1992.04.15 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C23C16/50;C01B31/06;H01L21/205 |
| 申請?zhí)?/strong> | 91109955.7 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1988.04.02 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1987.4.3[33]JP[31]083318/87;[32]1987.9.4[33]JP | |
| 申請人 | 富士通株式會社 | 地址 | 日本神奈川縣 |
| 發(fā)明人 | 栗原和明; 佐佐木謙一; 河原田元信; 越野長明 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利代理部 | 代理人 | 王杰 |
| 摘要 | 汽相淀積金剛石的方法：$在熱等離子體化學(xué)汽相淀積裝置的陰陽極之間通入放電氣的同時進行電弧放電；$通過向形成的等離子流中加入氣態(tài)碳化物使氣態(tài)碳化合物自由基化；以及$使所述的自由基化的等離子流碰撞待處理的基片，從而在所述基片上形成一層金剛石膜。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號