| 名稱 | 汽相淀積金剛石的方法及裝置 | ||
| 公開號 | 88101737 | 公開日 | 1988.10.26 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C23C16/50 |
| 申請?zhí)?/strong> | 88101737 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1988.04.02 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權 | ||
| 申請人 | 富士通株式會社 | 地址 | 日本國神奈川縣 |
| 發(fā)明人 | 栗原和明; 佐佐木謙一; 河原田元信; 越野長明 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人 | 陳季壯 |
| 摘要 | 汽相淀積金則石的方法：$在熱等離子體化學汽相淀積裝置的陰陽極之間通入放電氣的同時進行電弧放電；$通過向形成的等離子流中加入氣態(tài)碳化物使氣態(tài)碳化合物自由基化；以及$使所述的自由基化的等離子流碰撞待處理的基片，從而在所述基片上形成一層金剛石膜?！ ? | ||
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