申請?zhí)? 201720410287.4

申請日: 2017.04.19

國家/省市:中國廣東(44)

主分類號:C23C 16/27(2006.01)

授權(quán)公告號:206635412U

授權(quán)公告日:2017.11.14

分類號: C23C 16/27(2006.01)

申請人: 惠州市戴爾蒙德科技有限公司

發(fā)明人: 唐杰; 單元磊; 羅俊旋; 黃強元; 董朝新

代理人: 許志勇

代理機構(gòu):北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司(11315)

申請人地址:廣東省惠州市仲愷高新區(qū)惠風(fēng)七路7號公園壹號廣場廣東惠州大學(xué)生創(chuàng)業(yè)孵化基地1007、1008室

摘要： 本實用新型涉及化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備。本實用新型的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低廉，加快企業(yè)的生產(chǎn)效率，降低企業(yè)的生產(chǎn)成本；并且，生成的金剛石涂層牢固，生成金剛石涂層快速，在刀具使用過程中，金剛石涂層不易脫落，生產(chǎn)的刀具質(zhì)量一致性好。

主權(quán)利要求

1.一種熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于，包括：第一機殼；內(nèi)置于所述第一機殼的第二機殼，所述第二機殼與所述第一機殼的頂部相連接，所述第二機殼與所述第一機殼之間形成冷卻空間；設(shè)置于所述第一機殼及第二機殼頂部的第三機殼，所述第一機殼、第二機殼及第三機殼形成一密封的反應(yīng)腔室，所述第三機殼具有至少一反應(yīng)氣體入口，所述至少一反應(yīng)氣體入口連通所述反應(yīng)腔室；設(shè)置于所述反應(yīng)腔室的水冷基臺，所述水冷基臺包括：第一工作平臺及第二工作平臺，所述第一工作平臺及第二工作平臺的頂部相連接，所述第一工作平臺及第二工作平臺間具有一夾角A；設(shè)置于所述反應(yīng)腔室的發(fā)熱裝置，所述發(fā)熱裝置位于所述水冷基臺的上方，所述發(fā)熱裝置包括：兩組接線柱、發(fā)熱絲組及連接機構(gòu)，所述兩組接線柱設(shè)置于所述反應(yīng)腔室，并分別位于所述水冷基臺的兩側(cè)，所述兩組接線柱分別連接直流電源的正極及負極，所述發(fā)熱絲組的兩端分別連接所述兩組接線柱，所述連接機構(gòu)設(shè)置于所述反應(yīng)腔室，并位于所述兩組接線柱間，所述連接機構(gòu)分隔所述發(fā)熱絲組成第一部分及第二部分，所述第一部分及第二部分分別平行所述第一工作平臺及第二工作平臺；以及位于所述第一機殼一側(cè)的冷水機，所述冷水機的進口分別連接所述冷卻空間及水冷基臺，所述冷水機的出口分別連接所述冷卻空間及水冷基臺。