申請人:濟南中烏新材料有限公司
發(fā)明人:王篤福 王盛林 王希江 潘子明 王?,| 徐昌
摘要:一種具有半導體性質(zhì)Ⅱb型金剛石單晶的人工生長方法及裝置,該方法是向作為碳源的石墨中摻加氮化硼,使金剛石晶體在生長過程中有硼原子摻雜,高溫高壓條件下,將金剛石晶種置于金屬觸媒的底部,利用溫度梯度法生長;生長裝置包括導電片、導電石墨環(huán)、耐火保溫套、石墨管、絕緣槽和導電石墨片,導電石墨片和絕緣槽設置在石墨管內(nèi),導電石墨片與絕緣槽形成金剛石單晶生長的封閉空間,石墨管的外側(cè)設置有耐火保溫套及端蓋,端蓋內(nèi)設置有導電石墨環(huán),端蓋的外側(cè)設置有導電片,導電石墨環(huán)的兩端分別與石墨管和導電片接觸。本發(fā)明采用高溫高壓條件,以摻加硼的石墨為碳源,利用溫度梯度法生長出了粒徑大于10mm且具有半導體性質(zhì)的Ⅱb型的金剛石單晶。

2.根據(jù)權利要求1所述具有半導體性質(zhì)Ⅱb型金剛石單晶的人工生長方法,其特征是:所述氮化硼的摻加比例為質(zhì)量百分比5-10%。
3.根據(jù)權利要求1所述具有半導體性質(zhì)Ⅱb型金剛石單晶的人工生長方法,其特征是:所述石墨是通過向320目的天然鱗片狀石墨中摻加氮化硼混合均勻后,在30-50MPa壓力下壓制成型。
4.根據(jù)權利要求1所述具有半導體性質(zhì)Ⅱb型金剛石單晶的人工生長方法,其特征是:所述金屬觸媒采用Fe70Co28Ti合金。
5.一種具有半導體性質(zhì)Ⅱb型金剛石單晶的人工生長裝置,包括導電片、導電石墨環(huán)、耐火保溫套、石墨管、絕緣槽和導電石墨片;其特征是:導電石墨片和絕緣槽設置在石墨管內(nèi),導電石墨片設置在絕緣槽的開口處,兩者形成金剛石單晶生長的封閉空間,石墨管的外側(cè)設置有耐火保溫套,石墨管的上端和下端均設置有端蓋,端蓋內(nèi)設置有導電石墨環(huán),端蓋的外側(cè)設置有導電片,導電石墨環(huán)的兩端分別與石墨管和導電片接觸。
6.根據(jù)權利要求1所述具有半導體性質(zhì)Ⅱb型金剛石單晶的人工生長裝置,其特征是:所述耐火保溫套是在葉臘石塊內(nèi)套裝白云石環(huán)而成。